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자외선 경화 수지를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법

  • 기술번호 : KST2014034714
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자외선 경화 수지를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법에 관한 것으로, 그 목적은 미세버섯구조 패턴의 형성을 위한 주요 공정이 상온에서 진행되도록 하여 불균일한 열팽창에 의한 문제의 발생을 예방할 수 있는 자외선 경화 수지를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 미세버섯구조의 하부 구조물에 상응하는 다수개의 돌기가 표면에 형성된 프리폼을 형성하는 단계(S110); 상기 프리폼에 형성된 돌기의 상단부에 자외선 경화 수지를 코팅하는 단계(S120); 상기 돌기 상에 코팅된 자외선 경화 수지를 유리판으로 가압하여 자외선 경화 수지가 유리판에 점착된 채로 측면방향으로 퍼지게 하는 단계(S130); 및 상기 유리판에 의해 자외선 경화 수지가 가압된 상태에서 유리판을 통하여 자외선을 조사하여 자외선 경화 수지를 경화시킨 후, 유리판을 제거하는 단계(S140)로 이루어진 자외선 경화 수지를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법에 관한 것을 기술적 요지로 한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01)
출원번호/일자 1020100051664 (2010.06.01)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1064334-0000 (2011.09.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110914) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.01)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강정진 대한민국 서울 서대문구
2 홍석관 대한민국 서울 강서구
3 황철진 대한민국 경기도 부천시 원미구
4 김종선 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 장순부 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2010-0352699-21
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
3 등록결정서
Decision to grant		 2011.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0486177-45
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세버섯구조의 하부 구조물에 상응하는 다수개의 돌기(111a)가 표면에 형성된 프리폼(111)을 형성하는 단계(S110);상기 프리폼(111)에 형성된 돌기(111a)의 상단부에 자외선 경화 수지를 코팅하는 단계(S120);상기 돌기(111a) 상에 코팅된 자외선 경화 수지를 유리판(230)으로 가압하여 자외선 경화 수지가 유리판에 점착된 채로 측면방향으로 퍼지게 하는 단계(S130); 및상기 유리판(230)에 의해 자외선 경화 수지가 가압된 상태에서 유리판(230)을 통하여 자외선을 조사하여 자외선 경화 수지를 경화시킨 후, 유리판을 제거하는 단계(S140)로 이루어진 것을 특징으로 하는 자외선 경화 수지를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 S110 단계는,투명 기판(110)에 자외선 경화 수지를 코팅하여 자외선 경화 수지층(111`)을 형성하는 단계(S110-1);미세버섯구조의 하부 구조물에 상응하는 프리폼 패턴(211)이 형성된 스템퍼(210)를 이용하여 상기 자외선 경화 수지층(111`)을 가압한 후, 투명 기판(110)의 하부에서 자외선을 조사하여 자외선 경화 수지층을 경화시킴으로써 투명 기판 상에 다수개의 돌기(111a)가 구비된 프리폼(111)을 형성하는 단계(S110-2); 및자외선 경화 수지층(111`)이 경화된 후 스템퍼(210)를 제거하는 단계(S110-3)로 구성된 것을 특징으로 하는 자외선 경화 수지를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 스템퍼(210)와 유리판(230)의 표면에는 자외선 경화 수지의 점착방지를 위한 점착방지막이 코팅된 것을 특징으로 하는 자외선 경화 수지를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 S120 단계는,별도의 기판(220)에 자외선 경화 수지를 코팅하여 자외선 경화 수지층(221)을 형성한 뒤, 상기 프리폼(111) 상에 기판(220)을 위치시켜 돌기의 상단부에 자외선 경화 수지를 코팅하는 것을 특징으로 하는 자외선 경화 수지를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국생산기술연구원 국가청정관련기술개발사업 초발수 표면 미세 패턴 사출성형 기술개발