맞춤기술찾기

이전대상기술

반도체 공정용 히터 자켓

  • 기술번호 : KST2014034732
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체 공정용 히터 자켓이 개시(disclosure)된다. 일 실시 예에 있어서, 반도체 공정용 가스 배관과 외부를 단열하는 러버(rubber), 상기 러버의 양단에 각각 부착되어 고정되고 날개, 몸체부, 머리를 각각 포함하는 1쌍의 체결구 및 상기 1쌍의 체결구의 머리끼리 밀착시켜 결합하는 슬라이딩 캡을 포함하는 적어도 하나의 체결장치를 포함하되, 상기 날개는 원주(圓周)형으로 구부러져 있고 상기 러버의 양단에 각각 부착되고, 상기 몸체부는 상기 날개를 고정하여 지지하고, 상기 머리는 상기 몸체부 위에 돌출되어 있고, 상기 1쌍의 체결구는 마주 보고 있고, 상기 슬라이딩 캡은 상기 1쌍의 체결구를 밀착시켜 상기 머리 위에 슬라이드 방식으로 끼워져 상기 1쌍의 체결구가 서로 떨어지지 않도록 하여 반도체 공정용 히터 자켓을 상기 배관에 밀착, 고정시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/67103(2013.01) H01L 21/67103(2013.01)
출원번호/일자 1020090121701 (2009.12.09)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1094186-0000 (2011.12.08)
공개번호/일자 10-2011-0064920 (2011.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20111214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.09)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 남대근 대한민국 서울특별시 강남구
2 장재호 대한민국 부산광역시 수영구
3 강남현 대한민국 부산광역시 금정구
4 홍정표 대한민국 경기도 안산시 단원구
5 조형호 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 남정길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 인화빌딩 *층 (삼성동)(특허법인(유한)아이시스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0759696-50
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.12.23 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2009-0796077-10
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0796109-94
4 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2010.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0000176-47
5 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2010.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0041013-26
6 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2010.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0007815-22
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0048218-97
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
9 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.10.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
10 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.11.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0072680-28
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0186909-12
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0425152-05
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0479739-94
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0479740-30
15 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0710366-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 공정용 가스 배관과 외부를 단열하는 러버(rubber); 및 상기 러버의 양단에 각각 부착되어 고정되고 날개, 몸체부, 머리를 각각 포함하는 적어도 1쌍의 체결구 및 상기 1쌍의 체결구의 머리끼리 밀착시켜 결합하는 슬라이딩 캡을 포함하는 체결장치를 포함하되, 상기 날개는 원주(圓周)형으로 구부러진 형상으로 일단은 몸체부에 형성된 삽입부에 결합되어 고정되고, 타단은 상기 러버의 양단에 각각 부착되며, 상기 머리는 상기 몸체부 위에 돌출되어 있고, 상기 1쌍의 체결구는 마주 보고 있고, 상기 슬라이딩 캡은 상기 1쌍의 체결구를 밀착시켜 상기 머리 위에 슬라이드 방식으로 끼워져 상기 1쌍의 체결구가 서로 떨어지지 않도록 하여 반도체 공정용 히터 자켓을 상기 배관에 밀착, 고정시킬 수 있는 반도체 공정용 히터 자켓
2 2
제1항에 있어서, 상기 머리는 상기 몸체부의 너비보다 더 긴 폭을 가지는 반도체 공정용 히터 자켓
3 3
제1항에 있어서, 상기 러버의 안쪽에 상기 배관을 가열하는 열선을 포함하는 열선패드를 더 포함하는 히터 자켓
4 4
제3항에 있어서, 상기 열선패드는 상기 가스 배관의 온도를 감지하는 온도감지센서를 더 포함하는 반도체 공정용 히터 자켓
5 5
제3항에 있어서, 상기 열선의 가열을 제어하여 상기 가스 배관의 온도를 조절하는 온도조절기를 더 포함하는 반도체 공정용 히터 자켓
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국생산기술연구원 한국생산기술연구원 중소기업혁신도우미사업 반도체 생산배관용 Heater Jacket개발