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유기용제를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법

  • 기술번호 : KST2014034733
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기용제를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법에 관한 것으로, 그 목적은 미세버섯구조 패턴의 형성을 위한 주요 공정이 상온에서 진행되도록 하여 불균일한 열팽창에 의한 문제의 발생을 예방할 수 있는 유기용제를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 열가소성수지를 이용하여 미세버섯구조의 하부 구조물에 상응하는 다수개의 돌기가 표면에 형성된 프리폼을 형성하는 단계(S110); 열가소성수지를 녹이는 성질을 갖는 유기용제를 상부가 개방된 용기에 담아 상기 프리폼과 함께 밀폐용기에 넣은 후, 밀폐용기의 온도 조절을 통해 유기용제를 기화시켜 기화된 유기용제가 확산에 의해 프리폼의 표면으로 흡수되게 하여 프리폼의 표면과 내부에 농도 구배를 발생시키는 단계(S120); 상기 S120 단계를 통하여 유기용제가 흡수된 프리폼을 밀폐용기로부터 꺼낸 후, 상온에서 평판형의 가압부재로써 돌기의 상단부를 가압하여 유기용제에 의하여 물러진 돌기의 상단부가 측면방향으로 넓게 퍼지도록 하여 버섯구조를 형성하는 단계(S130); 및 상기 가압부재를 분리하고, 프리폼을 건조시켜 잔여 유기용제를 제거하는 단계(S140)로 이루어진 유기용제를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법에 관한 것을 기술적 요지로 한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0275(2013.01) H01L 21/0275(2013.01)
출원번호/일자 1020100051665 (2010.06.01)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1092387-0000 (2011.12.05)
공개번호/일자 10-2011-0131951 (2011.12.07) 문서열기
공고번호/일자 (20111209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.01)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강정진 대한민국 서울 서대문구
2 홍석관 대한민국 서울 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 장순부 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2010-0352701-36
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0469248-45
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0815475-28
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0815474-83
6 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0700035-36
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
열가소성수지를 이용하여 미세버섯구조의 하부 구조물에 상응하는 다수개의 돌기(111a)가 표면에 형성된 프리폼(111)을 형성하는 단계(S110);열가소성수지를 녹이는 성질을 갖는 유기용제를 상부가 개방된 용기(230)에 담아 상기 프리폼(111)과 함께 밀폐용기(220)에 넣은 후, 밀폐용기(220)의 온도 조절을 통해 유기용제를 기화시켜 기화된 유기용제가 확산에 의해 프리폼(111)의 표면으로 흡수되게 하여 프리폼의 표면과 내부에 농도 구배를 발생시키는 단계(S120);상기 S120 단계를 통하여 유기용제가 흡수된 프리폼(111)을 밀폐용기(220)로부터 꺼낸 후, 상온에서 평판형의 가압부재(240)로써 돌기(111a)의 상단부를 가압하여 유기용제에 의하여 물러진 돌기(111a)의 상단부가 측면방향으로 넓게 퍼지도록 하여 버섯구조를 형성하는 단계(S130); 및상기 가압부재(240)를 분리하고, 프리폼(111)을 건조시켜 잔여 유기용제를 제거하는 단계(S140)로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기용제를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 S110 단계는,상기 하부 구조물(11)의 형상에 대응하는 패턴이 각인된 스탬퍼(210)를 소재의 유리전이온도 Tg 이상의 온도로 가열하는 단계(S110-1); 및상기 가열된 스탬퍼(210)로써 소재를 가압하여 소재의 표면에 하부 구조물(11) 형상의 패턴을 전사함으로써 표면에 다수개의 돌기(111a)를 갖는 프리폼(111)을 형성하는 단계(S110-2)로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기용제를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 S140 단계는,상기 프리폼(111)을 진공오븐에 넣은 후, 유기용제의 끓는 점 이상의 온도로 가열하여 잔여 유기용제를 제거하는 것을 특징으로 하는 유기용제를 이용한 미세버섯구조 패턴의 형성방법
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1 지식경제부 한국생산기술연구원 국가청정관련기술개발사업 초발수 표면 미세 패턴 사출성형 기술개발