맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

와이어소를 이용한 사파이어 잉곳의 절단방법

  • 기술번호 : KST2014034759
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 사파이어 잉곳을 와이어소로써 절단하여 사파이어 웨이퍼를 제조함에 있어서, 사파이어 잉곳을 회전시킴과 동시에 결정축에 직각인 평면에 대하여 소정각도 기울어지게 절단할 수 있는 사파이어 잉곳의 절단방법을 제공하는 것이다. 이에 따라, 본 발명은 절단와이어의 열(列)이 형성된 와이어소(wire saw)에 의해 사파이어 잉곳이 절단되는 방법에 있어서, 결정축을 가진 기둥형상의 사파이어 잉곳이 준비되고 상기 잉곳의 길이방향의 양측면에 글래스(glass)부재 또는 세라믹부재가 부착되는 1단계; 상기 1단계 후, 양측의 상기 글래스부재 또는 세라믹부재의 외면에 양측 부착부가 부착되어 상기 잉곳이 고정되되, 상기 부착부에 연결된 스핀들의 회전축과 상기 결정축이 소정각도(α)를 이룬 상태에서 상기 잉곳이 고정되는 2단계; 및, 상기 2단계 후, 상기 스핀들이 회전됨으로써 회전하는 상기 잉곳을 상기 절단와이어에 절입시켜 상기 잉곳이 다수의 웨이퍼의 형상으로 절단이 진행되는 3단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B28D 5/04 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) B24B 27/06 (2006.01)
CPC B28D 5/0088(2013.01) B28D 5/0088(2013.01)
출원번호/일자 1020110031071 (2011.04.05)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1064266-0000 (2011.09.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110914) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.05)
심사청구항수 9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김형재 대한민국 부산 북구
2 조형호 대한민국 부산광역시 남구
3 김성렬 대한민국 부산광역시 북구
4 이영철 대한민국 부산광역시 부산진구
5 이상직 대한민국 부산 금정구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이동국 대한민국 부산광역시 동래구 명륜로 ** ,**층 *호(수안동, 경보이리스힐상가동)(한려국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0245956-18
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0246341-28
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0414274-19
4 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2011.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2011.06.08 수리 (Accepted) 9-1-2011-0047459-03
6 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2011.06.08 수리 (Accepted) 9-1-2011-0047446-10
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0430105-23
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0647550-14
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0647556-87
10 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0496421-71
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
절단와이어(22)의 열(列)이 형성된 와이어소(wire saw)에 의해 사파이어 잉곳(10)이 절단되는 방법에 있어서,결정축(15)을 가진 기둥형상의 사파이어 잉곳(10)이 준비되고 상기 잉곳(10)의 길이방향의 양측면에 글래스부재(11,12) 또는 세라믹부재가 부착되는 1단계;상기 1단계 후, 양측의 상기 글래스부재(11,12) 또는 세라믹부재의 외면에 양측 부착부(31,32)가 부착되어 상기 잉곳(10)이 고정되되, 상기 부착부에 연결된 스핀들(34)의 회전축과 상기 결정축(15)의 방향이 소정각도(α)를 이룬 상태에서 상기 잉곳(10)이 고정되는 2단계; 및,상기 2단계 후, 상기 스핀들(34)이 회전됨으로써 회전하는 상기 잉곳(10)을 상기 절단와이어(22)에 절입시켜 상기 잉곳(10)이 다수의 웨이퍼의 형상으로 절단이 진행되는 3단계; 를 포함하되,상기 사파이어 잉곳(10)은 길이방향과 결정축 방향이 동일하고, 상기 2단계에서, 상기 잉곳(10)의 양측면에 부착된 상기 글래스부재(11,12) 또는 세라믹부재의 외면이 각각 상기 결정축(15)에 직각인 평면에 대하여 상기 소정각도(α)의 경사진 평면으로 서로 평행하게 그라인딩된 후, 그 그라인딩된 양측 외면에 상기 양측 부착부(31,32)가 부착되는 것을 특징으로 하는 와이어소를 이용한 사파이어 잉곳의 절단방법
2 2
제1항에 있어서,상기 소정각도(α)는 0
3 3
제2항에 있어서,상기 절단와이어(22)의 열(列)은 양측의 상기 글래스부재(11,12) 또는 세라믹부재까지 절단하는 폭으로 설치된 것을 특징으로 하는 와이어소를 이용한 사파이어 잉곳의 절단방법
4 4
제3항에 있어서,상기 잉곳(10)이 상기 절단와이어(22)의 상측에 위치하는 것을 특징으로 하는 와이어소를 이용한 사파이어 잉곳의 절단방법
5 5
제4항에 있어서,상기 3단계에서상기 잉곳(10)이 설정깊이로 절단된 후에는 상기 잉곳(10)을 웨이퍼파지수단에 부착시키고, 상기 스핀들(34)의 회전을 정지시킨 상태에서 상기 절단와이어(22)에 절입시켜 절단을 완료하는 것을 특징으로 하는 와이어소를 이용한 사파이어 잉곳의 절단방법
6 6
제5항에 있어서,상기 잉곳(10)은 왁스(55)에 의해 상기 웨이퍼파지수단에 부착되는 것을 특징으로 하는 와이어소를 이용한 사파이어 잉곳의 절단방법
7 7
제5항에 있어서,상기 설정깊이는 상기 잉곳(10) 지름의 70~95%가 절단된 상태의 깊이인 것을 특징으로 하는 와이어소를 이용한 사파이어 잉곳의 절단방법
8 8
제2항에 있어서,상기 사파이어 잉곳(10)은 원기둥형상인 것을 특징으로 하는 와이어소를 이용한 사파이어 잉곳의 절단방법
9 9
절단와이어(22)의 열(列)이 형성된 와이어소(wire saw)에 의해 사파이어 잉곳(10)이 절단되는 방법에 있어서,길이방향과 결정축 방향이 0
10 10
삭제
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.