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와이어소에 설치되는 웨이퍼지지장치

  • 기술번호 : KST2014034760
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 잉곳을 회전시킴과 동시에 절단와이어에 절입하여 잉곳을 슬라이싱하는 와이어소에서, 상기 잉곳이 절단되어 생성된 웨이퍼를 최종적으로 지지하기 위하여 절단와이어의 상측에 설치가 가능하고 그 구성이 보다 간략화된 웨이퍼지지장치를 제공하는 것이다. 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 와이어소(wire saw)에 의해 잉곳이 절단되어 생성된 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼지지장치에 있어서, 상기 잉곳의 외주면에 접촉하는 접촉면이 형성된 웨이퍼홀더와, 상기 웨이퍼홀더에 설치된 히터와, 상기 접촉면에 부착되어 상기 히터의 작동에 의해 용융되는 왁스(wax)와, 상기 웨이퍼홀더를 상하방향으로 이송시키는 상하이송수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B28D 5/04 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) B28D 7/04 (2006.01)
CPC B28D 5/0082(2013.01) B28D 5/0082(2013.01) B28D 5/0082(2013.01)
출원번호/일자 1020110031076 (2011.04.05)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1064268-0000 (2011.09.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110914) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.04.05)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형재 대한민국 부산 북구
2 조형호 대한민국 부산광역시 남구
3 김성렬 대한민국 부산광역시 북구
4 이영철 대한민국 부산광역시 부산진구
5 이상직 대한민국 부산 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동국 대한민국 부산광역시 동래구 명륜로 ** ,**층 *호(수안동, 경보이리스힐상가동)(한려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0245978-12
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0414289-93
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2011.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2011.06.08 수리 (Accepted) 9-1-2011-0047460-49
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2011.06.08 수리 (Accepted) 9-1-2011-0047448-01
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0430106-79
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0647669-37
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.08.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0647663-64
9 등록결정서
Decision to grant
2011.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0496422-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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와이어소(wire saw)에 의해 잉곳이 절단되어 생성된 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼지지장치에 있어서,상기 잉곳의 외주면에 접촉하는 접촉면이 형성된 웨이퍼홀더(52)와,상기 웨이퍼홀더(52)에 설치된 히터(56)와,상기 접촉면에 부착되어 상기 히터(56)의 작동에 의해 용융되는 왁스(wax)(55)와,상기 웨이퍼홀더(52)의 상부에 결합되는 압축스프링(54)과,상기 압축스프링(54)을 매개로 상기 웨이퍼홀더(52)와 결합되어 상기 웨이퍼홀더(52)를 상하방향으로 이송시키는 상하이송수단과,상기 상하이송수단에 설치되는 리미트스위치지지대(533)와,상기 압축스프링(54)의 주위에서 상기 웨이퍼홀더(52)의 상부면과 소정간격을 두고 상기 리미트스위치지지대(533)에 설치되어 상기 압축스프링(54)이 상기 소정간격 만큼 압축시 감지신호가 발생되는 복수의 리미트스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼지지장치
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제1항에 있어서,상기 상하이송수단은 공압실린더(53)이고,상기 리미트스위치지지대(533)는 상기 공압실린더(53)의 실린더로더(532)의 단부에 설치되며,상기 복수의 리미트스위치는 상기 압축스프링(54)의 주위의 전후좌우에 설치되고,상기 공압실린더(53)를 상기 복수의 리미트스위치의 감지신호에 따라 제어하는 제어장치가 더 설치되되, 상기 제어장치는 상기 복수의 리미트스위치가 모두 감지신호를 발생시키면 상기 공압실린더(53)의 작동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼지지장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.