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탄소나노튜브층에 접촉하는 니들;
상기 니들에 연결되며, 상기 니들을 회전시키는 니들 회전 모터;
상기 니들 회전 모터를 지지하는 회전 모터 테이블; 및
상기 회전 모터 테이블을 지지하며, 상기 회전 모터 테이블을 기판으로부터 멀어지게 하거나 인접시키는 리니어 엑추에이터;를 포함하며,
상기 니들을 상기 탄소나노튜브층에 접촉시킨 후, 상기 니들을 회전시키는 동시에 상기 탄소나노튜브층으로부터 멀어지도록 하여 상기 탄소나노튜브층으로부터 탄소나노튜브 섬유를 형성하며,
상기 니들은 상기 탄소나노튜브층과 접촉하는 끝단에 상기 탄소나노튜브층과의 접합력을 높이기 위한 코팅막을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브층은 상기 기판상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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3
제 2 항에 있어서,
상기 기판과 탄소나노튜브층 사이에는 상기 탄소나노튜브층을 상기 기판의 표면과 수직하는 방향으로 상기 탄소나노튜브층이 성장하도록 하는 시드층을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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4
제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브 섬유화 장치는 상기 탄소나노튜브 섬유를 감아두는 보빈을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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5
제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브 섬유화 장치는 상기 니들과 니들 회전 모터 사이에 구비되며,
상기 니들에 체결된 스핀들; 및
상기 스핀들과 니들 회전 모터에 체결된 커플링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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6
탄소나노튜브층에 접촉하는 니들;
상기 니들에 연결되며, 상기 니들을 회전시키는 니들 회전 모터;
상기 니들 회전 모터를 지지하는 회전 모터 테이블; 및
상기 회전 모터 테이블을 지지하며, 상기 회전 모터 테이블을 기판으로부터 멀어지게 하거나 인접시키는 리니어 엑추에이터;를 포함하며,
상기 니들을 상기 탄소나노튜브층에 접촉시킨 후, 상기 니들을 회전시키는 동시에 상기 탄소나노튜브층으로부터 멀어지도록 하여 상기 탄소나노튜브층으로부터 탄소나노튜브 섬유를 형성하며,
상기 니들은 정전기 또는 자성을 가질 수 있는 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 코팅막은 SiN 박막인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 탄소나노튜브 섬유화 장치는 상기 기판을 지지하는 기판 지지대를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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제 9 항에 있어서,
상기 기판 지지대는 그 내부에 상기 기판을 냉각시키는 냉각 라인을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 리니어 엑추에이터는
상기 회전 모터 테이블이 이동되는 리니어 레일;
상기 리니어 레일의 끝단에 구비되며, 상기 회전 모터 테이블을 이동시키는 동력을 발생시키는 리니어 모터;
상기 리니어 모터의 회전축에 연결되며, 그 표면에 나사선이 구비된 스크루축; 및
상기 스크루축에 장착되어 상기 스크루축의 회전 운동을 직진 운동으로 변환시키며, 상기 회전 모터 테이블과 체결된 너트 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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12
제 11 항에 있어서,
상기 리니어 엑추에이터는 상기 스크루축의 양 끝단부에 구비되어 상기 스크루축을 지지하는 지지 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 섬유화 장치
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