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고체 유기물을 저장하는 유기물 저장 장치,
상기 유기물 저장 장치로부터 상기 고체 유기물을 공급받아 하기의 기화기로 공급하는 미세 공급 장치,
상기 미세 공급 장치에서 공급된 고체 유기물을 기체 유기물로 증발시키는 기화기, 및
상기 기화기로부터 기체 유기물을 공급받아 노즐들을 통해 상기 기체 유기물을 분사하는 선형 셀을 포함하며;
상기 선형 셀:은
증발통로, 메인 튜브 및 복수 개의 노즐을 구비하되,
상기 증발통로는 상기 기화기와 상기 메인 튜브를 연결하여 상기 기화기로부터 공급되는 기체 유기물을 상기 메인 튜브로 전달하되, 상기 메인 튜브의 일정 위치에 연결되어 있고, 상기 증발통로에는 상기 기화기로부터 상기 메인 튜브로 공급되는 기체 유기물의 양을 조절할 수 있는 압력 밸브가 마련되어 있으며,
상기 노즐들은 상기 메인 튜브에 동일 간격으로 구비되어 있되, 상기 증발통로와 연결되는 지점에서 멀어질 수 록 노즐 내경이 큰 노즐들이 구비되어 있고,
상기 기화기, 증발통로, 메인 튜브 및 노즐에는 각각 기화기 열선, 증발통로 열선, 메인 튜브 열선 및 노즐 열선이 감긴 형태로 구비되어 있되,
상기 기화기 열선, 증발통로 열선, 메인 튜브 열선 및 노즐 열선은 각각 기화기 열선용 제어기, 증발통로 열선용 제어기, 메인 튜브 열선용 제어기 및 노즐 열선용 제어기에 연결되어 각 부분을 별도로 가열할 수 있는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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2
제 1 항에 있어서,
상기 메인 튜브와 증발통로가 연결되는 지점은 상기 메인 튜브의 중간 지점인 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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3
삭제
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삭제
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삭제
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6
제 1 항에 있어서,
상기 기화기 전체와 상기 증발 통로의 일부분을 감싸 상기 기화기와 증발 통로의 열이 방열되는 것을 방지하는 제1케이스를 구비하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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7
제 6 항에 있어서,
상기 제1케이스와는 이격되되, 상기 제1케이스를 감싸고 있으며, 외부 표면에는 냉각 라인을 구비하고 있는 제2케이스를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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8
제 1 항에 있어서,
상기 유기물 저장 장치 또는 미세 공급 장치는 제1잔량 감지 센서를 구비하여 유기물의 잔량을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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9
제 1 항에 있어서,
상기 미세 공급 장치와 기화기 사이에는 투입량 감지 센서를 구비하여 상기 기화기로 공급되는 상기 고체 유기물의 투입량을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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10
제 1 항에 있어서,
상기 기화기는 제2잔량 감지 센서를 구비하여 상기 기화기 내의 고체 유기물의 잔량을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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11
제 1 항에 있어서,
상기 기화기는 압력 센서를 구비하여 상기 기화기 내의 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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12
제 1 항에 있어서,
상기 유기물 저장 장치는 상기 유기물 저장 장치 내에 저장된 고체 유기물을 교반하는 교반 블레이드를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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13
제 1 항에 있어서,
상기 증발통로의 내경은 3/8인치이고, 상기 메인 튜브의 내경은 1인치이며, 상기 메인 튜브의 길이는 600mm이고, 상기 노즐들의 내경은 5mm 내지 5
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14
제 1 항에 있어서,
상기 노즐들은 20개를 구비하고 있으며, 상기 노즐들간의 간격은 30mm인 것을 특징으로 하는 선형 유기물 증착 장치
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