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무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액, 이를 이용한 무전해 도금공정, 이에 의해 제조된 니켈-코발트-붕소 삼원합금 피막

  • 기술번호 : KST2014034825
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액, 이를 이용한 무전해 도금공정, 이에 의해 제조된 니켈-코발트-붕소 삼원합금 피막에 관한 것으로, 구체적으로 황산니켈, 황산코발트 및 디메틸아민 보란을 포함하는 무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액과, 이 도금액을 사용하여 구리배선소재를 무전해 도금하는 공정 및 이 도금액으로 도금된 다량의 코발트를 포함하는 도금피막에 관한 것이다. 구리배선, 니켈-코발트-붕소 도금액, 디메틸아민 보란, 확산 방지층, 무전해 도금
Int. CL C23C 18/31 (2006.01) C23C 18/32 (2006.01)
CPC C23C 18/50(2013.01) C23C 18/50(2013.01) C23C 18/50(2013.01)
출원번호/일자 1020090047807 (2009.05.29)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1096812-0000 (2011.12.14)
공개번호/일자 10-2010-0129052 (2010.12.08) 문서열기
공고번호/일자 (20111222) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.01)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍기 대한민국 인천광역시 연수구
2 전준미 대한민국 충청남도 공주시
3 허진영 대한민국 서울시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0327267-11
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2009.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0331082-11
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0070110-80
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0199006-03
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0444975-43
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0444976-99
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0716331-65
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
황산니켈, 황산코발트 및 디메틸아민 보란을 포함하는 무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액에 있어서, 상기 무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액 1 ℓ에 대하여 황산니켈 20 내지 30 g, 황산코발트 10 내지 15 g, 디메틸아민 보란 2
2 2
제1항에 있어서, 상기 삼원합금 도금액은 pH 조절제로 암모니아수를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액
3 3
제1항에 있어서, 상기 삼원합금 도금액의 pH는 7 내지 8인 것을 특징으로 하는 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 삼원합금 도금액은 첨가제를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액
8 8
제7항에 있어서, 상기 첨가제는 티오다이글리콜산인 것을 특징으로 하는 무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액
9 9
제8항에 있어서, 상기 삼원합금 도금액 1 ℓ에 대하여 티오다이글리콜산 2
10 10
제1항 내지 제3항 및 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액을 사용하여 구리배선소재에 확산방지층을 형성하는 단계를 포함하는 무전해 도금 공정
11 11
제10항에 있어서, 상기 무전해 도금 공정은 7
12 12
제1항 내지 제3항 및 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 무전해 니켈-코발트-붕소 삼원합금 도금액에 의하여 구리배선소재에 도금된 니켈-코발트-붕소 삼원합금 피막
13 13
제11항에 있어서, 상기 삼원합금 피막에서 니켈의 공석량은 15 내지 25 중량%이고, 붕소의 공석량은 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.