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니켈-인-텅스텐 삼원합금 무전해 도금액, 이를 이용한 무전해 도금 공정 및 이에 의해 제조된 니켈-인-텅스텐 삼원합금피막

  • 기술번호 : KST2014034826
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 니켈-인-텅스텐 삼원합금 무전해 도금액, 이를 이용한 무전해 도금 공정 및 이에 의해 제조된 니켈-인-텅스텐 삼원합금피막에 관한 것으로, 본 발명에 따른 무전해 도금 공정은 낮은 온도와 중성 pH 영역에서 수행됨에 따라 선택적인 도금피막 형성시 다른 소재에 화학적인 침식 또는 변형을 감소시킬 수 있으며, 본 발명에 따른 니켈-인-텅스텐 삼원합금 무전해 도금액은 고융점 금속인 텅스텐을 사용함으로써 도금피막 내부의 구리의 확산을 방지하고, 열적안정성이 향상되므로, 각종 반도체 및 패키지와 인쇄회로기판에서 유용하게 사용될 수 있다. 구리배선, 무전해 합금 도금, 니켈, 인, 텅스텐, 확산방지층
Int. CL C23C 18/34 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090039256 (2009.05.06)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1092667-0000 (2011.12.05)
공개번호/일자 10-2010-0120444 (2010.11.16) 문서열기
공고번호/일자 (20111213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.01)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍기 대한민국 경기도 고양시 일산구
2 전준미 대한민국 경기도 시흥시
3 허진영 대한민국 서울시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.05.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0271377-99
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2009.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0331080-20
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0070009-76
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0199008-94
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0443124-48
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0443125-94
9 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0702530-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
1 1
삭제
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황산니켈 20~30g/L, 차아인산 나트륨 50~100g/L, 텅스텐산 나트륨 10~20g/L, 숙신산 5~20g/L, 락트산 5~20g/L 및 시트린산 5~10g/L을 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈-인-텅스텐 삼원합금 무전해 도금액
3 3
제2항에 있어서, 상기 도금액은 pH 조절제로 암모니아수를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈-인-텅스텐 삼원합금 무전해 도금액
4 4
제2항에 있어서, 상기 도금액의 pH는 7 내지 8인 것을 특징으로 하는 니켈-인-텅스텐 삼원합금 무전해 도금액
5 5
제2항에 따른 니켈-인-텅스텐 무전해 삼원합금 도금액을 사용하여 구리를 도금하여 구리 표면 상에 확산방지층을 형성하는 단계를 포함하는 무전해 도금 공정
6 6
제5항에 있어서, 상기 무전해 도금 공정은 50~70℃의 온도 범위 및 7
7 7
제2항에 따른 니켈-인-텅스텐 무전해 삼원합금 도금액에 의해 구리 표면 상에 도금된 니켈-인-텅스텐 삼원합금피막
8 8
제7항에 있어서, 상기 니켈-인-텅스텐 삼원합금피막의 두께는 30~100nm이고, 텅스텐의 공석량은 1~5중량%, 인의 공석량은 5~8중량%인 것을 특징으로 하는 니켈-인-텅스텐 삼원합금피막
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1 WO2010128809 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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