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진공 내 카메라에 의한 플라즈마 촬영시스템

  • 기술번호 : KST2014035064
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 진공 챔버와 같은 챔버 내에서 플라즈마를 이용하는 경우 챔버 내부를 촬영하여 플라즈마 방전 상태를 용이하게 관찰할 수 있게 하는 플라즈마 촬영장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 진공 챔버 안에 카메라를 설치하여 플라즈마 방전 형상을 촬영하므로 플라즈마 방전 형상을 실시간으로 용이하게 관찰할 수 있고, 특히, 고 진공 영역에서 카메라에 의한 촬영 사진의 해상도가 떨어지는 문제의 원인을 규명하고 이를 해결한바, 고 진공에서도 고해상도의 플라즈마 방전을 촬영할 수 있는 플라즈마 촬영시스템을 제공할 수 있다.
Int. CL H05H 1/24 (2006.01) G01N 21/88 (2006.01)
CPC H01J 37/32798(2013.01) H01J 37/32798(2013.01) H01J 37/32798(2013.01) H01J 37/32798(2013.01) H01J 37/32798(2013.01) H01J 37/32798(2013.01) H01J 37/32798(2013.01) H01J 37/32798(2013.01) H01J 37/32798(2013.01) H01J 37/32798(2013.01)
출원번호/일자 1020110018354 (2011.03.02)
출원인 군산대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1091466-0000 (2011.12.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20111207) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020110104417;
심사청구여부/일자 Y (2011.03.02)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 군산대학교산학협력단 대한민국 전라북도 군산시 대학로 *** (

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주정훈 대한민국 서울특별시 강남구
2 최지성 대한민국 경기도 의왕시
3 홍광기 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 군산대학교산학협력단 대한민국 전라북도 군산시 대학로 *** (
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0149081-54
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0182764-48
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0273560-90
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0499149-24
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0499150-71
6 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.06.30 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2011-0499261-30
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0488443-32
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.10.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0799536-49
9 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0799499-47
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0799509-16
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.11.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0890853-76
12 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2011.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0660069-50
13 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0709255-28
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2012-5023436-69
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.10.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5142778-85
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038912-94
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153535-17
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 챔버를 10-4 torr 이하의 압력인 높은 진공도로 고 진공화하고 플라즈마 방전을 일으키는 경우, 상기 진공 챔버 내에 촬영 동작을 원격 조종할 수 있는 카메라 모듈을 장착하고; 상기 진공도에 도달하도록 진공펌프를 가동하는 동안은 상기 카메라 모듈을 동작시키지 않고, 10-4 torr 이하의 압력인 고 진공도에 도달하고 플라즈마가 방전된 이후에는 상기 카메라 모듈의 촬영을 소정 시간 간격을 두고 간헐적으로 동작시켜 플라즈마 방전 형상을 촬영하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영 시스템
2 2
제1항에 있어서, 상기 카메라 모듈과 연동하여 상기 카메라 모듈의 촬영 영상을 표시하는 디스플레이;를 상기 진공 챔버 외부에 설치하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영시스템
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 카메라 모듈은, 소정의 파장 대역은 투과하고 나머지 파장 대역은 반사하는 스펙트럴 라인 필터(spectral line filter)를 더 포함하여 플라즈마 방전에서 특정 이온의 방전 형상을 촬영하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영시스템
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 카메라 모듈은 핀 홀 렌즈(pin hole lens) 또는 광각렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영시스템
5 5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 카메라 모듈은 방전된 플라즈마를 입체적으로 촬영할 수 있도록 다수 구비되고, 다수의 카메라 모듈은 각각 소정의 입체각을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영시스템
6 6
제3항에 있어서, 상기 카메라 모듈은 방전된 플라즈마를 입체적으로 촬영할 수 있도록 다수 구비되고, 다수의 카메라 모듈은 각각 소정의 입체각을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영시스템
7 7
제4항에 있어서, 상기 카메라 모듈은 방전된 플라즈마를 입체적으로 촬영할 수 있도록 다수 구비되고, 다수의 카메라 모듈은 각각 소정의 입체각을 두고 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영시스템
8 8
삭제
9 9
제6항에 있어서, 다수의 카메라 모듈은 각각 소정의 입체각을 두고 배치되고, 각각의 카메라 모듈은 서로 다른 파장 대역을 투과하는 스펙트럴 라인 필터(spectral line filter)를 구비하여, 각각의 입체각 방향마다 서로 다른 이온 분포를 관찰하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영시스템
10 10
삭제
11 11
제1항에 있어서, 상기 카메라 모듈은, 촬영방향 및 촬영각도를 조절할 수 있도록 회전구동하는 액츄에이터(actuator); 및진동흡수용 완충기(damper);를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영시스템
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101197391 KR 대한민국 FAMILY

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