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1
기판;
상기 기판 상에 형성되고, 감지를 원하는 음향의 고유진동수에 맞게 제작된 진동판;
상기 진동판 상에 형성되고, 제 1 전극 및 제 2 전극을 포함하는 전극패턴;
상기 제 1 전극 및 제 2 전극 사이에 도포되어 전기적인 신호가 양 전극 사이에 연결되도록 하는 나노튜브;
상기 진동판 하부의 기판에 형성되고, 외부 압력변화에 대한 기준값으로 작용하는 공동부; 및
상기 기판 하부에 결합되고, 상기 공동부가 일정한 압력을 유지하도록 벤트홀이 형성된 플레이트를 포함하는 나노튜브를 이용한 음향 센서
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청구항 1에 있어서,
상기 나노튜브는 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서
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3
청구항 1에 있어서,
상기 나노튜브는 잉크젯 프린팅 공정을 이용하여 이미 형성된 전극 위에 잉크를 떨어뜨리고 건조시켜 전극패턴이 나노튜브로 연결되도록 한 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서
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| 4 |
4
청구항 1에 있어서,
상기 나노튜브의 저항패턴은 상기 진동판의 경계면에 걸쳐 복수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서
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5
청구항 4에 있어서,
상기 공동부의 상측에 형성된 상기 진동판의 상면에 상기 나노튜브 저항 패턴을 형성시켜 디퍼런셜 타입으로 신호를 출력할 수는 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서
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6
청구항 1에 있어서,
상기 진동판 상에 형성된 상기 나노튜브 패턴과 동일한 크기의 나노튜브 패턴을 별도로 형성하여 상기 별도의 나노튜브 패턴을 레퍼런스 저항으로 사용하는 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서
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7
청구항 1에 있어서,
상기 진동판은 실리콘 질화막 또는 다결정 실리콘막으로 형성된 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서
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8
기판 상에 음향대역의 고유진동수를 가지는 진동판을 형성하는 제 1 단계;
상기 제 1 전극 및 제 2 전극을 포함하는 전극패턴을 상기 진동판 상에 형성하는 제 2 단계;
상기 제 1 전극 및 제 2 전극 사이에 도포되어 전기적인 신호가 양 전극 사이에 연결되도록 하는 나노튜브를 형성하는 제 3 단계;
상기 진동판 하부의 기판에 외부 압력변화에 대한 기준값으로 작용하는 공동부를 형성하는 제 4 단계; 및
상기 공동부가 일정한 압력을 유지하도록 벤트홀이 형성된 플레이트를 상기 기판에 결합시키는 제 5 단계를 포함하는 나노튜브를 이용한 음향센서 제조방법
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9
청구항 8에 있어서,
상기 나노튜브는 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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10
청구항 8에 있어서,
상기 나노튜브는 잉크젯 프린팅 공정을 이용하여 잉크를 떨어뜨리고 건조시키는 방법을 통해 형성된 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향센서 제조방법
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11
청구항 8에 있어서,
상기 나노튜브의 저항패턴은 상기 진동판의 경계면에 걸쳐 복수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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12
청구항 8에 있어서,
상기 공동부의 상측에 형성된 상기 진동판의 상면에 상기 나노튜브 저항 패턴을 형성시켜 디퍼런셜 타입으로 신호를 출력할 수는 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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13
청구항 8에 있어서,
상기 진동판은 실리콘 질화막 또는 다결정 실리콘막으로 형성된 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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14
기판 상에 음향대역의 고유진동수를 가지는 진동판을 형성하는 제 1 단계;
상기 진동판 상에 나노튜브를 형성시키는 제 2 단계;
상기 나노튜브 상에 새도우 마스크 공정 또는 사진식각 공정을 통하여 제 1 전극 및 제 2 전극을 포함하는 전극패턴을 형성시키는 제 3 단계;
상기 진동판 하부의 기판에 외부 압력변화에 대한 기준값으로 작용하는 공동부를 형성하는 제 4 단계; 및
상기 공동부가 일정한 압력을 유지하도록 벤트홀이 형성된 플레이트를 상기 기판에 결합시키는 제 5 단계를 포함하는 나노튜브를 이용한 음향센서 제조방법
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15
청구항 14에 있어서,
상기 나노튜브는 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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16
청구항 14에 있어서,
상기 나노튜브는 잉크젯 프린팅 공정을 이용하여 잉크를 떨어뜨리고 건조시키는 방법을 통해 형성된 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향센서 제조방법
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17
청구항 14에 있어서,
상기 나노튜브의 저항패턴은 상기 진동판의 경계면에 걸쳐 복수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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18
청구항 14에 있어서,
공동부의 상측에 형성된 상기 진동판의 상면에 상기 나노튜브 저항 패턴을 형성시켜 디퍼런셜 타입으로 신호를 출력할 수는 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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19
청구항 14에 있어서,
상기 진동판은 실리콘 질화막 또는 다결정 실리콘막으로 형성된 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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20
기판 상에 음향대역의 고유진동수를 가지는 진동판을 형성하는 제 1 단계;
상기 제 1 전극 및 제 2 전극을 포함하는 전극패턴을 상기 진동판 상에 형성하는 제 2 단계;
상기 제 1 전극 및 제 2 전극 사이에 도포되어 전기적인 신호가 양 전극 사이에 연결되도록 하는 나노튜브를 형성하는 제 3 단계;
상기 진동판 하부의 기판에 외부 압력변화에 대한 기준값으로 작용하는 공동부를 형성하는 제 4 단계;
상기 공동부가 일정한 압력을 유지하도록 벤트홀이 형성된 플레이트를 상기 기판에 결합시키는 제 5 단계; 및
레퍼런스 저항을 형성하기 위해 상기 진동판 상에 형성된 나노튜브 패턴과 동일한 크기의 나노튜브 패턴을 별도로 형성하는 제 6 단계를 포함하는 나노튜브를 이용한 음향센서 제조방법
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청구항 20에 있어서,
상기 나노튜브는 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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청구항 20에 있어서,
상기 나노튜브는 잉크젯 프린팅 공정을 이용하여 잉크를 떨어뜨리고 건조시키는 방법을 통해 형성된 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향센서 제조방법
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청구항 20에 있어서,
상기 나노튜브의 저항패턴은 상기 진동판의 경계면에 걸쳐 복수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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청구항 20에 있어서,
상기 공동부의 상측에 형성된 상기 진동판의 상면에 상기 나노튜브 저항 패턴을 형성시켜 디퍼런셜 타입으로 신호를 출력할 수는 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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청구항 20에 있어서,
상기 진동판은 실리콘 질화막 또는 다결정 실리콘막으로 형성된 것을 특징으로 하는 나노튜브를 이용한 음향 센서 제조방법
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