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(a) 불소계 온실가스를 함유하는 유체를 1사이클을 반복단위로 하여 온실가스제거기에 공급하는 유체공급부로부터 상기 온실가스제거기로 상기 1사이클 동안 인입되는 유체를 대상으로 불소계 온실가스의 농도를 실시간 측정하는 단계;(b) 상기 단계 (a)에서 실시간 측정된 불소계 온실가스의 농도로부터 얻어지는 각 측정시점에서의 불소계 온실가스의 함량을 상기 1사이클 전 구간에 대하여 적분하여 전체 함량을 결정하는 단계;(c) 상기 1사이클 동안 온실가스 제거기에 입력되어 배출된 유체로부터 불소계 온실가스의 농도를 실시간 측정하는 단계;(d) 상기 단계 (c)에서 실시간 측정된 불소계 온실가스의 농도로부터 얻어지는 각 측정시점에서의 불소계 온실가스의 함량을 상기 1사이클 전 구간에 대하여 적분하여 전체 함량을 결정하는 단계; 및(e) 상기 단계 (b)에서 얻은 불소계 온실가스의 전체 함량과 상기 단계 (d)에서 얻은 불소계 온실가스의 전체 함량의 차를 이용하여 온실가스 제거기에서 제거된 불소계 온실가스의 제거효율을 얻는 단계;를 포함하는 온실가스의 제거효율의 측정방법
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제 1항에 있어서,불소계 온실가스의 함량을 결정하기 위해 비변환가스를 상기 온실가스 제거기에 인입되는 유체내로 투입하는 것을 특징으로 하는 온실가스의 제거효율의 측정방법
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제 2항에 있어서,비변환가스는 CF4인 것을 특징으로 하는 온실가스의 제거효율의 측정방법
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제 1항에 있어서,상기 불소계 온실가스는 과불화탄소, 수소불화탄소, 또는 육불화황인 것을 특징으로 하는 온실가스의 제거효율의 측정방법
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제 1항에 있어서,온실가스는 CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8, c-C4F8O, C4F6, CHF3, CH2F2, NF3, 또는 SF6인 것을 특징으로 하는 온실가스의 제거효율의 측정방법
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불소계 온실가스를 함유하는 유체를 1사이클을 반복단위로 하여 온실가스제거기에 공급하는 유체 공급부;상기 1사이클 동안 인입된 유체로부터 불소계 온실가스를 일정량 제거하고 배출하는 온실가스 제거기; 및상기 1사이클 동안 온실가스 제거기에 인입 및 배출되는 유체로부터 각각 불소계 온실가스의 함량을 실시간 측정하는 실시간 농도분석기, 및 상기 인입, 배출된 불소계 온실가스의 각 실시간 함량을 상기 1사이클 전체에 대하여 적분하여 불소계 온실가스의 전체 함량을 각각 결정하고 이들의 차로부터 온실가스 제거기에서 제거된 불소계 온실가스의 제거율을 산출하는 연산처리부를 포함하는 온실가스 측정기;를 포함하는 온실가스의 제거효율 측정시스템
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제 6항에 있어서,온실가스는 과불화탄소, 수소불화탄소, 또는 육불화황인 것을 특징으로 하는 온실가스의 제거효율의 측정시스템
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제 6항에 있어서,불소계 온실가스는 CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8, c-C4F8O, C4F6, CHF3, CH2F2, NF3, 또는 SF6인 것을 특징으로 하는 온실가스의 제거효율의 측정시스템
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제 6항에 있어서, 온실가스 제거기는 연소식, 전기가열식, 플라즈마식, 화학적 촉매식 또는 이들간의 하이브리드식인 것을 특징으로 하는 온실가스의 제거효율의 측정시스템
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