맞춤기술찾기
이전대상기술
전구체 샘플링 장치, 및 이를 이용한 전구체 샘플 분석방법
- 기술번호 : KST2014035307
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 수용된 액상의 전구체가 기화되는 전구체 용기, 상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 공급되는 샘플링 모듈, 및 상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 유입되어, 내부에 안착된 웨이퍼에 화학 증착 공정이 수행되는 반응기를 포함하되, 상기 전구체 용기에서 기화된 전구체는 선택적으로 상기 샘플링 용기 또는 상기 반응기로 공급되는 전구체 샘플링 장치를 개시한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) |
| CPC | C23C 16/4482(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020120011255 (2012.02.03) |
| 출원인 | 한국표준과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1414130-0000 (2014.06.25) |
| 공개번호/일자 | 10-2013-0090146 (2013.08.13) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20140701) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.02.03) |
| 심사청구항수 | 3 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 윤주영 | 대한민국 | 서울 양천구 |
| 2 | 김진태 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 3 | 강상우 | 대한민국 | 대전 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인다나 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.02.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0091662-12 |
| 2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.04.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0236312-41 |
| 3 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2013.06.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0511574-78 |
| 4 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2013.07.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0611125-15 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.08.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0720022-34 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.08.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0720021-99 |
| 7 | 최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal |
2013.12.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0856276-60 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 9 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2014.02.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0129229-60 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.03.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0230156-73 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.03.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2014-0230153-36 |
| 12 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.06.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0409626-19 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 수용된 액상의 전구체가 기화되는 전구체 용기;상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 일부 유입되어 액화되는 샘플링 모듈;상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 유입되어, 내부에 안착된 웨이퍼에 화학 증착 공정이 수행되는 반응기; 및상기 전구체 용기에 배치되어 전구체의 양을 측정하는 계측기를 포함하고,상기 샘플링 모듈은, 상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 일부 유입되는 샘플링 용기와, 상기 샘플링 용기가 삽입되는 하우징, 및 상기 하우징의 외면에 밀착되어 상기 유입된 전구체가 액화되도록 냉각시키는 냉각기를 포함하고,상기 샘플링 용기는 끝단부에 토출구가 형성되고, 상기 토출구를 밀폐하는 마개가 결합된 전구체 샘플링 장치 |
| 2 |
2 제1항에 있어서, 상기 전구체 용기와 샘플링 용기에 연결된 제1파이프 라인과, 상기 전구체 용기와 반응기에 연결된 제2파이프 라인을 더 포함하고, 상기 제1파이프라인과 제2파이프 라인에는 각각 제1밸브와 제2밸브가 형성되어, 상기 제1밸브 또는 제2밸브의 개폐에 의해 상기 기화된 전구체가 선택적으로 상기 샘플링 모듈 또는 반응기로 공급되는 전구체 샘플링 장치 |
| 3 |
3 삭제 |
| 4 |
4 삭제 |
| 5 |
5 제1항에 있어서, 상기 냉각기는 팰티어 모듈인 전구체 샘플링 장치 |
| 6 |
6 삭제 |
| 7 |
7 삭제 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부 | 한국원자력연구원 양성자기반공학기술개발사업단 | 양성자기반공학기술개발사업 | 빔라인개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1414130-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20120203 출원 번호 : 1020120011255 공고 연월일 : 20140701 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140617 청구범위의 항수 : 3 유별 : H01L 21/205 발명의 명칭 : 전구체 샘플링 장치, 및 이를 이용한 전구체 샘플 분석방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 81,000 원 | 2014년 06월 26일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 74,200 원 | 2017년 05월 17일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 53,000 원 | 2018년 05월 28일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 53,000 원 | 2019년 05월 16일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 107,000 원 | 2020년 05월 26일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.02.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0091662-12 |
| 2 | 의견제출통지서 | 2013.04.08 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0236312-41 |
| 3 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2013.06.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0511574-78 |
| 4 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2013.07.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0611125-15 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.08.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0720022-34 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.08.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0720021-99 |
| 7 | 최후의견제출통지서 | 2013.12.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0856276-60 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 9 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2014.02.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0129229-60 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.03.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0230156-73 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.03.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2014-0230153-36 |
| 12 | 등록결정서 | 2014.06.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0409626-19 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 기술번호 | KST2014035307 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국표준과학연구원 |
| 기술명 | 전구체 샘플링 장치, 및 이를 이용한 전구체 샘플 분석방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 수용된 액상의 전구체가 기화되는 전구체 용기, 상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 공급되는 샘플링 모듈, 및 상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 유입되어, 내부에 안착된 웨이퍼에 화학 증착 공정이 수행되는 반응기를 포함하되, 상기 전구체 용기에서 기화된 전구체는 선택적으로 상기 샘플링 용기 또는 상기 반응기로 공급되는 전구체 샘플링 장치를 개시한다. |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 반도체 공정진단 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이센스,기술협력,기술지도, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345147910 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2008-2006690 |
| 연구과제명 | 빔라인 개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국원자력연구원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200804~201212 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1415123436 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10037239 |
| 연구과제명 | 염료감응태양전지 유기염료의 광흡수 영역 확장 기술 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 재단 법인 대구 경북 과학 기술원 |
| 연구주관기관명 | (재)대구경북과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201006~202005 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
| [1020130052356] | 복합 결정상 이산화티탄 나노로드의 제조방법 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [1020120108907] | 염료감응형 태양전지 전극용 고 다공성 이산화티타늄 나노섬유 및 그 제조방법 | 새창보기 |
| [1020120047540] | 전구체의 증기압 측정장치 및 방법 | 새창보기 |
| [1020120041675] | 염료감응 태양전지 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
| [1020120041547] | 광감응 태양전지 및 그의 제조방법 | 새창보기 |
| [1020120039997] | 신규한 유기염료 화합물 및 이를 포함하는 염료감응 태양전지 | 새창보기 |
| [1020120011255] | 전구체 샘플링 장치, 및 이를 이용한 전구체 샘플 분석방법 | 새창보기 |
| [1020110145864] | 굽힘 변형 가능한 코일 회전장치 | 새창보기 |
| [1020110142343] | 양성자 빔 단면의 크기 조절을 활용한 양성자 치료기 | 새창보기 |
| [1020100096067] | 대면적의 균질한 대전류의 다양한 이온빔을 생성 및 가속하는 대전류 대면적 이온빔 인출장치 | 새창보기 |
| [1020080127897] | 양성자빔을 이용한 지르코늄 합금의 수소취화방법 | 새창보기 |
중요키워드
| [KST2014006501][한국표준과학연구원] | 플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 탄소불순물 생성진단 방법 및 진단 장치 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [KST2014065884][한국표준과학연구원] | 아킹을 이용한 내플라즈마 평가방법 | 새창보기 |
| [KST2015179734][한국표준과학연구원] | 초전도 소자의 포토리소그라피 방법 | 새창보기 |
| [KST2015179564][한국표준과학연구원] | 정전용량형 압력센서 및 그 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015179280][한국표준과학연구원] | 초전도 소자의 포토리소그라피 방법 | 새창보기 |
| [KST2014006486][한국표준과학연구원] | 반도체 제조용 반응공정 진단 시스템 | 새창보기 |
| [KST2016014698][한국표준과학연구원] | 유도 가열 선형 증발 증착 장치(Inductive Heating Linear Evaporation Deposition Apparatus) | 새창보기 |
| [KST2017006614][한국표준과학연구원] | 투명기판의 제조방법 및 이를 이용한 표면증강 라만산란 기판의 제조방법(Fabrication Method of Transparent Substrate and Fabrication Method of Surface Enhanced Raman Scattering Substrates using Thereof) | 새창보기 |
| [KST2016015051][한국표준과학연구원] | 초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조장치 및 제조시스템(System and apparatus for manufacturing fine pattern using unit for adjusting depth of focus) | 새창보기 |
| [KST2014042068][한국표준과학연구원] | 코발트 박막의 선택적 증착방법 | 새창보기 |
| [KST2015179329][한국표준과학연구원] | 금속, 반도체, 절연체 패턴의 선폭과 크기를 줄이는 방법 | 새창보기 |
| [KST2019006421][한국표준과학연구원] | 단일공정에 의한 2차원 소재를 포함하는 신축소자의 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2017008482][한국표준과학연구원] | 열전소재를 이용한 GSR 센서 및 그 형성 방법(GSR sensor having thermoelectric materials and method of manufacturing the same) | 새창보기 |
| [KST2015179478][한국표준과학연구원] | 포토 마스크의 수리장치 및 이를 이용한 수리방법 | 새창보기 |
| [KST2015179556][한국표준과학연구원] | 금속박막의 저온증착 방법 | 새창보기 |
| [KST2016014033][한국표준과학연구원] | 포토리소그래피 방법(Photolithography Method) | 새창보기 |
| [KST2014065442][한국표준과학연구원] | 박막 형성시 표면 기능기 변형을 통한 조성 조절 및불순물 혼입 방지 방법 | 새창보기 |
| [KST2014035303][한국표준과학연구원] | 공정 모니터링 방법 및 공정 모니터링 장치 | 새창보기 |
| [KST2017009779][한국표준과학연구원] | 산화막 제거 및 활성산소 처리를 통한 고품질의 흑린 박막 제조방법(Method of fabricating high quality black phosphorous thin film by the treatment of oxide-layer removal and reactive oxygen reaction) | 새창보기 |
| [KST2015179708][한국표준과학연구원] | 화학증착소재 실시간 진단장치 | 새창보기 |
| [KST2019003873][한국표준과학연구원] | 박막 형성 방법 및 이에 의한 금속 산화 박막 | 새창보기 |
| [KST2016014700][한국표준과학연구원] | 유도 가열 선형 증발 증착 장치(Inductive Heating Linear Evaporation Deposition Apparatus) | 새창보기 |
| [KST2014042242][한국표준과학연구원] | 전자기 부양 신소재 박막증착장치 | 새창보기 |
| [KST2014042259][한국표준과학연구원] | 고온 열매체를 이용한 투명 진공로 | 새창보기 |
| [KST2015179726][한국표준과학연구원] | 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치 | 새창보기 |
| [KST2015179582][한국표준과학연구원] | 화학가스에 대한 부품의 내부식 평가방법 | 새창보기 |
| [KST2014006487][한국표준과학연구원] | 반도체 소자 제조용 진공 장치의 파이프 막힘 진단장치 및 방법 | 새창보기 |
| [KST2014065568][한국표준과학연구원] | 나노 패턴을 이용한 기판 제조방법 | 새창보기 |
| [KST2015179470][한국표준과학연구원] | 내플라즈마 평가방법 | 새창보기 |
| [KST2015179255][한국표준과학연구원] | 초전도소자의포토리소그라피방법 | 새창보기 |
| 심판사항 정보가 없습니다 |
|---|