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진공 챔버;상기 진공 챔버 내에 설치되고 냉음극 에미터를 장착하는 에미터 홀더;상기 진공 챔버 내에 상기 냉음극 에미터와 이격되어 설치되고 상기 냉음극 에미터에 대응되는 위치에 선택적으로 위치하는 다이오드 방식의 게이트 전극구조를 갖는 제1 전극부;상기 진공 챔버 내에 상기 냉음극 에미터와 이격되어 설치되고 상기 냉음극 에미터에 대응되는 위치에 선택적으로 위치하는 트라이오드 방식의 게이트 전극구조를 갖는 제2 전극부;상기 제1 전극부와 상기 제2 전극부의 전류량을 검출하는 전류 검출기; 및검출된 상기 전류량을 수집하여 디스플레이 및 저장하는 단말기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제1 항에 있어서,상기 제1 전극부와 상기 제2 전극부가 회전에 의해 교대로 상기 냉음극 에미터에 대응되도록 위치시키는 회전체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 제1 전극부는,평평한 메탈 게이트인 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 제2 전극부는,음극, 상기 음극과 이격되어 배치되는 양극, 및 상기 음극과 상기 양극 사이에 배치되는 그리드 게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 에미터 홀더를 지지하고 상기 에미터 홀더와 상기 제1 전극부 또는 상기 제2 전극부와의 거리를 조절하는 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 진공 챔버의 일측에 연결되는 로드락 챔버;상기 로드락 챔버 내에 설치되고 냉음극 에미터를 장착하는 제2 에미터 홀더; 및상기 제2 에미터 홀더를 지지하고 상기 제2 에미터 홀더를 이동시켜 상기 제2 에미터 홀더에 장착된 소정의 샘플을 상기 에미터 홀더로 장착하는 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제6 항에 있어서,상기 진공 챔버와 상기 로드락 챔버 사이에 연결되어 그 사이를 개폐하는 게이트 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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8
진공 챔버;상기 진공 챔버 내에 설치되고 냉음극 에미터를 장착하는 에미터 홀더;상기 냉음극 에미터에 대응되도록 위치하고 트라이오드 방식의 게이트 전극구조를 갖는 전극부;상기 전극부의 전류량을 검출하는 전류 검출기; 및검출된 상기 전류량을 수집하여 디스플레이 및 저장하는 단말기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제8 항에 있어서,상기 전극부는,음극, 상기 음극과 이격되어 배치되는 양극, 및 상기 음극과 상기 양극 사이에 배치되는 그리드 게이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제8 항 또는 제9 항에 있어서,상기 에미터 홀더를 지지하고 상기 에미터 홀더와 상기 전극부와의 거리를 조절하는 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제8 항 또는 제9 항에 있어서,상기 진공 챔버의 일측에 연결되는 로드락 챔버;상기 로드락 챔버 내에 설치되고 냉음극 에미터를 장착하는 제2 에미터 홀더; 및상기 제2 에미터 홀더를 지지하고 상기 제2 에미터 홀더를 이동시켜 상기 제2 에미터 홀더에 장착된 소정의 샘플을 상기 에미터 홀더로 장착하는 제2 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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제11 항에 있어서,상기 진공 챔버와 상기 로드락 챔버 사이에 연결되어 그 사이를 개폐하는 게이트 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 특성을 검사하기 위한 시스템
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