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실리콘 웨이퍼 제조시 발생하는 폐슬러지로부터 실리콘(Si)과 탄화규소(SiC)를 분리하는 방법

  • 기술번호 : KST2014035538
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지용 및 반도체 웨이퍼 제조 시 발생하는 폐슬러지를 재생하는 방법에 있어서, 고상분인 실리콘(Si)과 탄화규소(SiC)의 밀도 차를 이용하여 원심 분리에 사용되는 중액(重液)용액으로서 Sodium metatungstate hydrate와 Lithium Metatungstate를 사용하여 폐슬러지를 재생하는 방법에 관한 것이다. 상기 중액용액인 Sodium metatungstate hydrate와 Lithium Metatungstate는 고상분인 실리콘(Si)과 탄화규소(SiC)를 원심분리하기에 적합한 밀도를 가지고 있으며, 수용성이여서 환경적으로 친화적이다. 상기 용액에 따라 재생되는 실리콘(Si)은 태양전지에 적용이 가능하게 되며, 재생된 탄화규소(SiC)는 태양전지용 및 반도체 웨이퍼 잉곳(Ingot)을 절삭하는 데 재사용된다.
Int. CL C02F 1/38 (2006.01) C02F 11/14 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) B01D 11/04 (2006.01)
CPC C02F 11/143(2013.01) C02F 11/143(2013.01) C02F 11/143(2013.01)
출원번호/일자 1020100099979 (2010.10.13)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1102697-0000 (2011.12.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.13)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양오봉 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
2 이동헌 대한민국 전라북도 전주시 완산구
3 곽도환 대한민국 전라북도 전주시 완산구
4 정현진 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
5 오대웅 대한민국 광주광역시 북구
6 이문선 대한민국 전라남도 목포시 삼학로 ***,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황여현 대한민국 대전광역시 서구 문예로 ***, KT&G빌딩 *층 (둔산동)(화평국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0662118-65
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0677467-24
3 보정요구서
Request for Amendment
2010.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0092654-49
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.28 수리 (Accepted) 4-1-2010-5245806-20
5 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0503551-16
6 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2011.07.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2011.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2011-0056773-35
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0596364-89
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0978065-45
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0978061-63
11 등록결정서
Decision to grant
2011.12.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0772018-81
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2012-5206243-46
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
16 출원인정보변경(경정)신고서
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2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
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번호 청구항
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실리콘 웨이퍼 제조시 발생하는 폐슬러지를 재생하는 방법에 있어서,상기 폐슬러지에 함유된 액상분과 고상분 중 액상분을 유기용매에 녹인 후 1차 원심분리하여 액상분과 고상분으로 분리하는 단계;상기 고상분을 산용액으로 처리하여 함유된 유기물질, 금속 및 불순물의 함량을 최소화하는 단계; 상기 산처리된 고상분에 중액용액을 혼합하여 2차 원심분리하는 단계;로 이루어지되, 상기 고상분을 산용액으로 처리는 0
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실리콘 웨이퍼 제조시 발생하는 폐슬러지를 재생하는 방법에 있어서,상기 폐슬러지에 함유된 액상분과 고상분 중 액상분을 유기용매에 녹인 후 1차 원심분리하여 액상분과 고상분으로 분리하는 단계;상기 고상분을 산용액으로 처리하여 함유된 유기물질, 금속 및 불순물의 함량을 최소화하는 단계; 상기 산처리된 고상분에 중액용액을 혼합하여 2차 원심분리하는 단계;로 이루어지되, 상기 중액용액은 Sodium metatungstate hydrate를 사용하는 것을 특징으로 하는 폐슬러지로부터 실리콘과 탄화규소를 분리하는 방법
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실리콘 웨이퍼 제조시 발생하는 폐슬러지를 재생하는 방법에 있어서,상기 폐슬러지에 함유된 액상분과 고상분 중 액상분을 유기용매에 녹인 후 1차 원심분리하여 액상분과 고상분으로 분리하는 단계;상기 고상분을 산용액으로 처리하여 함유된 유기물질, 금속 및 불순물의 함량을 최소화하는 단계; 상기 산처리된 고상분에 중액용액을 혼합하여 2차 원심분리하는 단계;로 이루어지되, 상기 중액용액은 Lithium metatungstate를 사용하는 것을 특징으로 하는 슬러지 부터 실리콘과 탄화규소를 분리하는 방법
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실리콘 웨이퍼 제조시 발생하는 폐슬러지를 재생하는 방법에 있어서,상기 폐슬러지에 함유된 액상분과 고상분 중 액상분을 유기용매에 녹인 후 1차 원심분리하여 액상분과 고상분으로 분리하는 단계;상기 고상분을 산용액으로 처리하여 함유된 유기물질, 금속 및 불순물의 함량을 최소화하는 단계; 상기 산처리된 고상분에 중액용액을 혼합하여 2차 원심분리하는 단계;로 이루어지되, 상기 중액용액은 Sodium metatungstate hydrate와 Lithium Metatungstate를 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 폐슬러지로부터 실리콘과 탄화규소를 분리하는 방법
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