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제 1 전극(110), 제 3 전극(130), 및 상기 제 1 전극과 상기 제 3전극의 사이에 일정 간격을 두고 이격 배치되는 제 2 전극(120)을 포함하며, 상기 제 1 전극(110), 상기 제 2 전극(120) 및 상기 제 3전극(130)의 중앙부에는 하전 입자 빔이 통과하는 관통구(111, 121, 131)가 각기 형성되어 있으며, 상기 관통구(111, 121, 131)는 일렬로 정렬 배치되는 정전 렌즈에 있어서,상기 제 1 전극(110)과 제 3 전극(130)은 체결수단에 의해 서로 통전되도록 접촉 결합되어 내부에 중공이 형성되고, 측면에 관통공이 형성된 기준전극을 형성하고, 상기 기준전극은 상기 중공 내에 배치된 상기 제 2 전극을 이격되게 둘러싸 외부 전계로부터 차폐하고,상기 기준전극의 관통공을 통해 접촉핀 어셈블리(160)가 삽입 배치되어, 상기 제 2 전극(120)과 전원 케이블(150)을 연결하여 외부 전원을 인가하되,상기 접촉핀 어셈블리(160)는 상기 제 2 전극의 측면에 접하는 도전성 재질의 접촉핀(161)과, 상기 접촉핀의 외주면에 배치되는 스프링(162), 상기 접촉핀 및 상기 스프링을 상기 기준전극으로부터 절연시키는 절연하우징(140) 및 상기 접촉핀을 케이블(150)과 전기적으로 연결하는 외부 연결부(163)를 포함하며,상기 절연하우징(140)은 상기 기준전극의 관통공에 삽입 부착되며, 상기 접촉핀(161)의 외주면에는 스프링(162)이 상기 절연하우징(140)의 내부에 설치되고, 상기 절연하우징의 일 단부는 상기 접촉핀(161)과 슬라이딩 가능하게 접촉되어 상기 스프링에 대해 걸림턱으로 작용하는 것을 특징으로 하는 정전 렌즈
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제 1항에 있어서,상기 기준전극은 접지되어 있는 것을 특징으로 하는 정전 렌즈
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제 2 전극(120)은 상기 제 1 전극(110) 및 상기 제 3전극(130) 보다 반경이 작은 원판형상이고, 상기 제 1 전극 또는 상기 제 3전극에 절연체인 체결수단과 스페이서에 의해 일정한 간격을 두고 이격 고정되는 것을 특징으로 하는 정전 렌즈
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제 3항에 있어서,상기 제 2 전극(120)이 제 3 전극(130)에 관통구(121,131)의 중심을 맞추어 정확히 고정 체결한 후 다시 상기 제 1 전극(110)이 제 3 전극(130)에 고정 체결되는 것을 특징으로 하는 정전 렌즈
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 제 2 전극(120)에는 1 kV 내지 30 kV의 고전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 정전 렌즈
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제 1 항 또는 제 2항의 정전 렌즈를 포함하는 분석 측정 장치
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제 10항에 있어서, 상기 분석 측정 장치는 전자 현미경, SIMS, ISS(ion scattering spectroscopy) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 분석 측정 장치
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