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모체팁(mother tip)의 선단부에 나노니들을 부착한 형태의 SPM 나노탐침에 있어서,
상기 탐침은 입자빔 유도 증착(particle beam induced deposition)에 의해 나노니들의 선단부에 구형의 증착물이 형성되도록 한 구조를 포함하되, 상기 나노니들의 단면직경(x)과 상기 구형의 증착물의 직경(y)의 비 y/x가 1
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제1항에 있어서,
상기 구형의 증착물의 직경은 15 nm 내지 1,000 nm 범위인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침
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제1항에 있어서,
상기 입자빔 유도 증착(particle beam induced deposition)은 입자 가속전압이 5 내지 50 kV 범위이고, 선단부에 조사되는 입자밀도가 400 내지 10,000 개/nm2(particle/nm2) 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침
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제1항에 있어서,
상기 입자빔은 전자빔(electron beam), 중성자 빔(neutron beam), 양성자 빔(proton beam), 중성 원자빔(neutral atom beam) 또는 이온빔(ion beam)인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침
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제4항에 있어서,
상기 중성 원자 또는 이온은 헬륨(He), 붕소(B), 네온(Ne), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 실리콘(Si), 인(P), 염소(Cl), 알곤(Ar), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 갈륨(Ga), 게르마늄(Ge), 크립톤(Kr), 인듐(In), 크세논(Xe), 금(Au) 및 백금(Pt)으로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상의 중성 원자 또는 이온인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침
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제1항에 있어서,
상기 증착물은 금속, 탄소 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침
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7
제2항에 있어서,
상기 나노니들의 단면직경(x)과 상기 구형의 증착물의 직경(y)의 비 y/x가 2 내지 8 범위이고, 상기 구형의 증착물의 직경은 80 nm 내지 600 nm 범위인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침
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모체팁(mother tip)의 선단부에 나노니들을 부착한 형태의 SPM 나노탐침의 제조방법에 있어서,
ⅰ)마더팁(mother tip)에 나노니들을 부착하는 단계,;
ⅱ)입자빔을 조사할 수 있는 챔버 내에 상기 나노니들이 부착된 모체팁을 안착하는 단계 및;
ⅲ)상기 나노니들의 선단부에 입자 가속전압이 5 내지 50 kV 범위이고, 선단부에 조사되는 입자밀도가 400 내지 10,000 개/nm2(particle/nm2) 범위에서 입자빔을 조사하여 나노니들의 선단부에 구형의 증착물이 형성되도록 하되, 상기 나노니들의 단면직경(x)과 상기 구형의 증착물의 직경(y)의 비 y/x가 1
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제8항에 있어서,
상기 구형의 증착물의 직경은 15 nm 내지 1,000 nm 범위인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침의 제조방법
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10
제8항에 있어서,
상기 입자빔은 전자빔(electron beam), 중성자 빔(neutron beam), 양성자 빔(proton beam), 중성 원자빔(neutral atom beam) 또는 이온빔(ion beam)인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침의 제조방법
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11
제10항에 있어서,
상기 중성 원자 또는 이온은 헬륨(He), 붕소(B), 네온(Ne), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 실리콘(Si), 인(P), 염소(Cl), 알곤(Ar), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 갈륨(Ga), 게르마늄(Ge), 크립톤(Kr), 인듐(In), 크세논(Xe), 금(Au) 및 백금(Pt)으로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상의 중성 원자 또는 이온인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침의 제조방법
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12
제8항에 있어서,
상기 증착물은 금속, 탄소 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침의 제조방법
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제9항에 있어서,
상기 나노니들의 단면직경(x)과 상기 구형의 증착물의 직경(y)의 비 y/x가 2 내지 8 범위이고, 상기 구형의 증착물의 직경은 80 nm 내지 600 nm 범위인 것을 특징으로 하는 SPM 나노탐침의 제조방법
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