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제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol) 및 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 스케일 패턴을 형성하는 단계; 및상기 제1 심볼은 서로 다른 구조의 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼은 서로 다른 구조의 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재하고, 상기 중첩 영역, 상기 제1 심볼 영역들, 및 제2 심볼 영역들 중에서 가장 작은 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터를 추출하고 상기 N 스테이지로 구성된 코드워드의 길이(cwd) 이상의 측정 폭(dw)에 대하여 감지 신호를 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 폭은 상기 최소 영역의 폭의 3 배 이상이고, 상기 제1 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 추출하는 단계;상기 합산 신호들을 이용하여 상기 제1 심볼 및 상기 제2 심볼의 중첩 영역을 특정하는 단계;상기 중첩 영역을 기준을 하여 코드워드를 분석하여 제1 절대 위치 정보를 추출하는 단계; 및상기 중첩 영역에 대응하는 상기 감지 신호를 이용하여 위상을 추출하여 제2 절대 위치 정보를 추출하는 단계; 중에서 적어도 하나의 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법
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제2 항에 있어서,상기 제1 심볼(symbol)은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할되고,상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 3 분할되는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법
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제2 항에 있어서,상기 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)는 최대길이 시퀀스(Maximum legnth sequence)인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법
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제2 항에 있어서,하나의 상기 중첩 영역에 대하여 2 개 또는 3 개의 감지 신호를 가지는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법
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제2 항에 있어서,상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 서로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법
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제2 항에 있어서,상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 위치 측정 방법
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제2 항에 있어서,상기 감지 신호는 상기 스케일에서 반사된 광 신호인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법
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제2 항에 있어서,상기 감지 신호는 상기 스케일을 투과한 광 신호인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법
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제2 항에 있어서,상기 제1 폭은 수 마크로미터 내지 수 밀리미터인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 방법
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제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol), 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함하고,상기 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정용 스케일
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제 11 항에 있어서,상기 제1 심볼 및 상기 제2 심볼은 적어도 하나의 바 패턴을 포함하는 것을 특징으로 절대 위치 측정용 스케일
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제 11 항에 있어서,상기 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)는 최대길이 시퀀스(Maximum legnth sequence)인 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정용 스케일
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제11 항에 있어서,상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 서로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정용 스케일
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제11 항에 있어서,상기 중첩 영역은 2 개이고, 상기 중첩 영역으로 연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정용 스케일
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제1 폭을 가지고 제1 상태를 나타내는 제1 심볼(symbol) 및 상기 제1 폭을 가지고 제2 상태를 나타내는 제2 심볼을 이용하여 N 스테이지(stage)의 선형 피드백 천이 레지스터의 시퀀스를 가지고 반복적으로 배치된 의사 잡음 코드(Pseudo-random-code)를 대체하여 형성된 스케일 패턴을 포함하는 스케일;상기 제1 심볼은 2 개 이상의 제1 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제2 심볼은 2 개 이상으로 제2 심볼 영역들로 분할되고, 상기 제1 심볼과 상기 제2 심볼이 중첩되어 동일한 구조를 가지는 중첩 영역이 적어도 하나는 존재하고, 상기 중첩 영역, 상기 제1 심볼 영역들, 및 제2 심볼 영역들 중에서 가장 작은 최소 영역에 대하여 적어도 하나의 데이터를 추출하고 상기 N 스테이지로 구성된 코드워드의 길이(cwd) 이상의 측정 폭(dw)에 대하여 감지 신호를 측정하는 센서 어레이;상기 제1 폭은 상기 최소 영역의 폭의 3 배 이상이고, 상기 제1 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 제2 심볼은 상기 최소 영역으로 등간격으로 분할되고, 상기 측정 폭의 범위 내에서 상기 제1 폭의 간격으로 측정된 상기 감지 신호를 합산하여 합산 신호들을 제공하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치
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제 16 항에 있어서,상기 처리부는 상기 합산 신호들을 이용하여 상기 제1 심볼 및 상기 제2 심볼의 중첩 영역을 특정하고, 상기 중첩 영역을 기준을 하여 코드워드를 분석하여 제1 절대 위치 정보를 추출하고, 상기 중첩 영역에 대응하는 상기 감지 신호를 이용하여 위상을 추출하여 제2 절대 위치 정보를 추출하는 것을 특징으로 하는 절대 위치 측정 장치
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