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챔버 내에 복수의 탄소 원자들이 배열된 탄소 구조체를 장입하는 단계;상기 탄소 구조체에 탄소-수소 결합을 형성하기 위하여, 상기 챔버 내에 수소 가스를 공급하는 단계;상기 챔버 내에 상기 탄소-수소 결합의 장벽 에너지를 감소시키는 수소 셔틀 가스를 공급하는 단계; 및상기 탄소 구조체를 열처리하는 단계;를 포함하고,상기 탄소-수소 결합은 상기 탄소 구조체와 상기 수소 가스에 의하여 형성되고,상기 열처리하는 단계에서, 상기 수소 셔틀 가스는 상기 탄소-수소 결합에 포함된 상기 수소를 이동시켜 상기 탄소-수소 결합의 상태를 변화시키는, 탄소 구조체의 수소화 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소 구조체를 열처리하는 단계는 0℃ 내지 300℃ 범위의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 탄소 구조체의 수소화 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 챔버 내에 상기 수소 가스를 공급하는 단계를 수행한 후에 상기 챔버 내에 상기 수소 셔틀 가스를 공급하는 단계를 수행하거나, 또는 상기 챔버 내에 상기 수소 셔틀 가스를 공급하는 단계를 수행한 후에 상기 챔버 내에 상기 수소 가스를 공급하는 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 탄소 구조체의 수소화 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 챔버 내에 상기 수소 가스를 공급하는 단계와 상기 챔버 내에 상기 수소 셔틀 가스를 공급하는 단계는 동시에 수행되는 것을 특징으로 하는 탄소 구조체의 수소화 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 챔버 내에 상기 수소 가스를 공급하는 단계와 상기 챔버 내에 상기 수소 셔틀 가스를 공급하는 단계 사이에,상기 챔버를 퍼지하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 구조체의 수소화 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소 구조체는 그라파이트(graphite), 그라핀(graphene), 탄소 나노 튜브(carbon nano tube, CNT), 풀러렌(fullerene) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탄소 구조체의 수소화 처리 방법
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제 1 항에 있어서,상기 수소 셔틀 가스는 H2O, HF, NH3, 또는 이들의 혼합 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소 구조체의 수소화 처리 방법
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챔버 내에 복수의 탄소 원자들이 배열된 탄소 구조체를 장입하는 단계;상기 탄소 구조체에 탄소-수소 결합을 형성하기 위하여, 상기 탄소 구조체를 수소 분위기 플라즈마 처리하는 단계;상기 탄소 구조체를 상기 탄소-수소 결합의 장벽 에너지를 감소시키는 수소 셔틀 가스 분위기에 노출시키는 단계; 및상기 탄소 구조체를 열처리하는 단계;를 포함하고,상기 탄소-수소 결합은 상기 탄소 구조체와 상기 수소 분위기 플라즈마에 의하여 형성되고,상기 열처리하는 단계에서, 상기 수소 셔틀 가스는 상기 탄소-수소 결합에 포함된 상기 수소를 이동시켜 상기 탄소-수소 결합의 상태를 변화시키는, 탄소 구조체의 수소화 처리 방법
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챔버 내에 복수의 탄소 원자들이 배열된 탄소 구조체를 장입하는 단계;상기 탄소 구조체 상에 금속 촉매를 흡착시키는 단계;상기 금속 촉매를 이용하여 상기 탄소 구조체에 탄소-수소 결합을 형성하기 위하여, 상기 챔버 내에 수소 가스를 공급하는 단계;상기 챔버 내에 상기 탄소-수소 결합의 장벽 에너지를 감소시키는 수소 셔틀 가스를 공급하는 단계; 및상기 탄소 구조체를 열처리하는 단계;를 포함하고,상기 탄소-수소 결합은 상기 탄소 구조체와 상기 수소 가스에 의하여 형성되고,상기 열처리하는 단계에서, 상기 수소 셔틀 가스는 상기 탄소-수소 결합에 포함된 상기 수소를 이동시켜 상기 탄소-수소 결합의 상태를 변화시키는, 탄소 구조체의 수소화 처리 방법
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