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다중렌즈 어레이를 가지는 공초점 현미경 및 이를 이용한 측정방법

  • 기술번호 : KST2014035781
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공초점 현미경에 관한 것으로 본 발명은 다중렌즈 구동부에 의해 이동 가능하도록 설치되고, 적어도 3 종류 이상의 개구수를 가지는 다수개의 렌즈가 개구수가 같은 렌즈끼리 군집되어 있는 다중렌즈 어레이; 상기 다중렌즈 어레이의 하측에 구비되고, 개구수가 다른 대물렌즈가 다수개 구비되며, 대물렌즈 구동부에 의해 상기 대물렌즈가 교체되는 대물렌즈 어레이; 시편에서 반사되어 상기 대물렌즈 어레이 및 상기 다중렌즈 어레이를 지나 입사되는 광량을 신호프로파일로 변환하는 CCD; 및 상기 다중렌즈 구동부 및 대물렌즈 구동부를 제어하여 각각의 렌즈를 선택하되, 임의의 대물렌즈에 대하여 상기 다중렌즈 어레이를 z축 상으로 이동시키면서 상기 신호프로파일을 분석하여 신호대 잡음비가 3초과 5미만이 되는 상기 다중렌즈 어레이를 선택하고, 상기 선택된 다중렌즈 어레이를 수평으로 이동시켜 획득된 상기 신호프로파일을 이용하여 측정영역의 입체영상을 구현하는 제어부를 포함한다. 본 발명에 의하면 시편에 반사된 광량값을 분석하여 렌즈의 개구수를 조절하고 다중렌즈 어레이를 x,y축으로 이동시켜 측정영역을 스캔하여 보다 넓은 부분의 측정값을 얻을 수 있어, 상대적으로 넓은 범위의 측정영역을 가짐과 동시에 그 정밀도 역시 높아지는 효과가 있다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G02B 27/22 (2006.01) G01B 9/04 (2006.01) G01N 21/88 (2006.01)
CPC G01B 9/04(2013.01) G01B 9/04(2013.01) G01B 9/04(2013.01) G01B 9/04(2013.01) G01B 9/04(2013.01) G01B 9/04(2013.01)
출원번호/일자 1020100044126 (2010.05.11)
출원인 경희대학교 산학협력단, 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1158065-0000 (2012.06.04)
공개번호/일자 10-2011-0124634 (2011.11.17) 문서열기
공고번호/일자 (20120618) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.11)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김민영 대한민국 대구광역시 수성구
2 이순걸 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 강태훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, ***호 (역삼동, 황산빌딩)(인아이피특허법률사무소)
2 나선균 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, ***호 (역삼동, 황산빌딩)(인아이피특허법률사무소)
3 방영석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, ***호 (역삼동, 황산빌딩)(인아이피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 김종형 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.05.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0303155-79
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0303835-18
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0420145-89
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0446064-87
5 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2010.08.03 무효 (Invalidation) 1-1-2010-0500418-03
6 보정요구서
Request for Amendment
2010.08.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0069571-18
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0573248-26
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0638570-71
9 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2010.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0100347-71
10 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
11 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0031872-27
12 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2011.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0311953-64
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0684691-91
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0077486-01
15 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.02.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0106225-25
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.02.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0106187-88
17 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.03.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0135050-58
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.09 수리 (Accepted) 4-1-2015-5029677-09
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2015-5084292-58
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5111449-53
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다중렌즈 구동부에 의해 이동 가능하도록 설치되고, 적어도 3 종류 이상의 개구수를 가지는 다수개의 렌즈가 개구수가 같은 렌즈끼리 군집되어 있는 다중렌즈 어레이;상기 다중렌즈 어레이의 하측에 구비되고, 개구수가 다른 대물렌즈가 다수개 구비되며, 대물렌즈 구동부에 의해 상기 대물렌즈가 교체되는 대물렌즈 어레이; 시편에서 반사되어 상기 대물렌즈 어레이 및 상기 다중렌즈 어레이를 지나 입사되는 광량을 신호프로파일로 변환하는 CCD;및상기 다중렌즈 구동부 및 대물렌즈 구동부를 제어하여 각각의 렌즈를 선택하되, 임의의 대물렌즈에 대하여 상기 다중렌즈 어레이를 z축 상으로 이동시키면서 상기 신호프로파일을 분석하여 신호대 잡음비가 3초과 5미만이 되는 상기 다중렌즈 어레이를 선택하고, 상기 선택된 다중렌즈 어레이를 수평으로 이동시켜 획득된 상기 신호프로파일을 이용하여 측정영역의 입체영상을 구현하는 제어부를 포함하는 다중렌즈 어레이를 가지는 공초점 현미경
2 2
제 1 항에 있어서,상기 다중렌즈 어레이는골격을 형성하는 바디 및;상기 바디에 각각 개구수가 다른 제 1, 제 2 및 제 3 개구수를 가진 렌즈가 각각 군집된 렌즈를 포함하여 구성되고,상기 다중렌즈 구동부는 x축 액추에이터, y축 액추에이터, z축 액추에이터를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 다중렌즈 어레이를 가지는 공초점 현미경
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 다중렌즈 어레이는상기 다중렌즈 어레이의 하면에 구비되고, 상기 다중렌즈 어레이의 초점과 동축인 다수개의 핀홀이 관통되게 형성되는 핀홀어레이를 더 포함하는 다중렌즈 어레이를 가지는 공초점 현미경
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다중렌즈 어레이를 가지는 공초점 현미경을 이용하여 시편의 입체영상을 측정하는 방법에 있어서,대물렌즈 어레이에서 시편의 측정영역을 모두 측정할 수 있는 개구수를 가진 대물렌즈를 선정하는 단계;상기 다중렌즈 어레이를 z축으로 이동시켜 측정포인트를 스캐닝하여 z축 신호프로파일을 획득하는 단계;상기 신호프로파일을 분석하여, 신호대 잡음비가 3초과 5미만이 되도록 상기 다중렌즈 어레이를 수평이동하여 상기 다중렌즈 어레이에서 렌즈를 선택하는 단계; 및상기 다중렌즈 어레이를 수평으로 이동시켜 상기 측정영역에 대한 신호프로파일을 제어부로 보내는 단계를 포함하는 렌즈 어레이를 가지는 공초점 현미경을 이용하는 측정방법
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제 4 항에 있어서,상기 신호프로파일에서 분석된 신호대 잡음비가 3이하일 경우 상기 다중렌즈 어레이에서 개구수가 큰 렌즈를 선택하고, 상기 신호대 잡음비가 5이상일 경우 상기 다중렌즈 어레이 중 개구수가 작은 렌즈를 선택하며, 상기 신호대 잡음비가 3초과 5미만일 경우 기 선택된 렌즈를 사용하는 렌즈 어레이를 가지는 공초점 현미경을 이용하는 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 서울산업대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(2006년 기술기반구축사업(핵심)) 3D Microsystem Packaging을 위한 접합공정 및 장비 개발