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제 1 전극;
상기 제 1 전극을 둘러싸고 있는 직경이 1 내지 2 mm인 구멍이 일정 간격으로 둘 이상 부설된 다공성 테플론 부재;
일정 공간을 두고 상기 다공성 테플론 부재를 감싸고 있는 유전체 부재; 및
상기 유전체 부재를 둘러싸고 있고, 상기 제 1 전극과 전기적으로 연결된 제 2 전극을 포함하는 코로나 방전 플라즈마 장치
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제 1 항에 있어서,
반응 가스는 상기 유전체 부재 및 다공성 테플론 부재의 공간 사이로 공급되는 코로나 방전 플라즈마 장치
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3
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 전극은 철, 구리, 알루미늄, 및 스테인레스 스틸로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나인 코로나 방전 플라즈마 장치
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4
제 1 항에 있어서,
상기 유전체 부재는 석영, 유리, 또는 세라믹에서 선택되는 어느 하나인 코로나 방전 플라즈마 장치
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5
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 전극 및 제 2 전극은 원 기둥형 또는 다각 기둥형인 코로나 방전 플라즈마 장치
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6
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 전극의 최장 직경은 7 내지 10 mm인 코로나 방전 플라즈마 장치
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7
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 전극의 최장 직경은 20 내지 25 mm이고, 전극의 두께는 0
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8
제 1 항에 있어서,
상기 유전체 부재의 최장 직경은 20 내지 23 mm 이고, 두께는 2 내지 4 mm인 코로나 방전 플라즈마 장치
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9
제 1 항에 있어서,
상기 다공성 테플론 부재의 두께는 1 내지 3 mm인 코로나 방전 플라즈마 장치
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10
제 1 항에 있어서,
상기 다공성 테플론 부재의 구멍 사이의 간격은 2 내지 4 mm로 부설된 코로나 방전 플라즈마 장치
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11
제 1 항에 있어서,
상기 코로나 방전이 일어나는 유효 길이는 100 내지 200 mm인 코로나 방전 플라즈마 장치
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12
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 전극 및 제 2 전극 사이에 100 내지 800 Hz의 교류 전압이 인가되는 코로나 방전 플라즈마 장치
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13
유전체, 도전성 전극, 및 직경 1 내지 2 mm인 구멍이 일정 간격으로 둘 이상 부설된 다공성 테플론이 순차 적층된 전극 단위체를 둘 이상 포함하고,
상기 둘 이상의 전극 단위체의 도전성 전극은 전기적으로 연결되어 있으며,
상기 둘 이상의 전극 단위체는 서로 일정 공간을 두고, 한 전극 단위체의 유전체가 다음 전극 단위체의 다공성 테플론과 마주보도록 배열되어 있는 코로나 방전 플라즈마 장치
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14
제 13 항에 있어서, 상기 도전성 전극은 철, 구리, 알루미늄, 및 스테인레스 스틸로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나인 코로나 방전 플라즈마 장치
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15
제 13 항에 있어서, 상기 유전체는 석영, 유리, 또는 세라믹에서 선택된 어느 하나인 코로나 방전 플라즈마 장치
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16
제 13 항에 있어서, 상기 전극 단위체는 6 개 내지 50 개인 코로나 방전 플라즈마 장치
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제 13 항에 있어서, 상기 유전체 및 다공성 테플론의 두께는 1 내지 3 mm, 넓이는 200 내지 300 mm 이며, 높이는 50 내지 150mm인 코로나 방전 플라즈마 장치
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18
제 13 항에 있어서, 상기 다공성 테플론의 구멍 사이 간격은 2 내지 4 mm인 코로나 방전 플라즈마 장치
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제 1 항 또는 제 13 항의 코로나 방전 플라즈마 장치;
석회유가 채워져 있는 교반반응기를 포함하는 흡수 장치; 및
황화소다 및 가성소다의 수용액이 채워져 있는 교반반응기를 포함하는 흡수환원장치를 포함하고, 상기 코로나 방전 플라즈마 장치, 흡수장치 및 흡수환원장치는 순차적으로 연결된 할로카본 처리장치
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