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입사빔을 조사하는 광원;
제1 영역 및 상기 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하며, 상기 제1 영역을 통하여 시편을 향해 입사빔을 전파하고, 입사빔이 시편으로부터 산란된 산란빔을 상기 제2 영역을 통하여 전파하는 대물렌즈;
상기 대물렌즈의 상기 제2 영역을 통과한 산란빔이 전달되는 수신부; 및
상기 제1 영역에 입사된 산란빔을 차단하기 위하여 상기 제1 영역 및 상기 수신부를 광학적으로 차단하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 암시야 현미경
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제 1항에 있어서,
상기 광원 및 상기 대물렌즈 사이에 위치하는 반거울; 및
상기 광원 및 상기 반거울 사이에 위치하며 상기 광원의 입사빔을 부분적으로 차단하는 불투명 가리개를 더 포함하며,
상기 제1 영역 및 상기 수신부를 광학적으로 차단하는 수단은, 상기 반거울에 인접하여 위치하며 상기 광원의 입사빔을 상기 대물렌즈를 향해 반사하는 불투명 거울인 것을 특징으로 하는 암시야 현미경
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제 1항에 있어서,
상기 제1 영역 및 상기 수신부를 광학적으로 차단하는 수단과 상기 광원은 서로 일체화되어 형성되며 상기 대물렌즈의 상기 제1 영역 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 암시야 현미경
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제 1항에 있어서,
상기 광원 및 시편 사이에 위치하며 상기 광원의 입사빔을 시편에 조사하는 콘덴서 렌즈; 및
상기 광원 및 상기 콘덴서 렌즈 사이에 위치하며 상기 광원의 입사빔을 부분적으로 차단하는 불투명 가리개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 암시야 현미경
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제 5항에 있어서,
상기 제1 영역 및 상기 수신부를 광학적으로 차단하는 수단은, 상기 대물렌즈의 상기 제1 영역 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 암시야 현미경
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7
제 1항에 있어서,
상기 광원 및 시편 사이에 위치하는 편광자; 및
상기 대물렌즈 및 상기 수신부 사이에 위치하는 검광자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 암시야 현미경
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8
제 1항에 있어서,
상기 수신부는 대안렌즈 또는 전하결합소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 암시야 현미경
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제1 영역 및 상기 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하는 대물렌즈를 시편에 인접하여 배치하는 단계;
상기 제1 영역을 통하여 시편에 입사빔을 조사하는 단계;
입사빔이 시편으로부터 산란된 산란빔을 상기 대물렌즈에 입사시키는 단계;
상기 제1 영역에 입사된 산란빔을 차단하는 단계;
상기 제2 영역에 입사된 산란빔을 상기 제2 영역을 통해 수신부 방향으로 전파하는 단계; 및
상기 제2 영역을 통해 전파된 산란빔을 상기 수신부에서 수신하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 산란광 검출 방법
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제 9항에 있어서,
상기 시편에 입사빔을 조사하는 단계 전에, 편광자를 이용하여 입사빔의 편광을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 산란광 검출 방법
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제 11항에 있어서,
상기 제2 영역을 통해 전파된 산란빔을 상기 수신부에서 수신하는 단계 전에, 검광자를 이용하여 산란빔을 편광에 따라 필터링하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 산란광 검출 방법
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