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소정의 축을 기준으로 직선 운동 또는 회전 운동을 하는 주이동체(40);
상기 주이동체(40)를 직선 운동시키는 엑츄에이터 및 상기 주이동체(40)를 회전 운동시키는 회전 구동부를 포함하는 구동수단;
상기 주이동체에 형성되는 레버(41); 및
상기 축 방향과 평행한 방향으로 직선 운동할 수 있도록 형성되는 복수의 보조 이동체(31, 31, 33, 34, 35, 36)를 포함하고,
상기 엑츄에이터 및 상기 회전 구동부에 의해 상기 주이동체(40)의 직선 운동 및 회전 운동을 제어하여 상기 레버(41)가 운동시키고자 하는 보조 이동체와 선택적으로 접촉하도록 하고,
상기 레버(41)가 접촉한 보조 이동체는, 상기 주이동체(40)가 직선 운동함에 따라서 상기 레버(41)에 의해 직선 운동하는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제1항에 있어서,
상기 엑츄에이터는 샤프트(12)를 구비하고,
상기 주이동체(40)는 상기 샤프트(12) 상에 결합되며,
상기 복수의 보조이동체(31, 32, 33, 34, 35, 36)는 상기 샤프트(12)를 중심으로 방사형으로 배치되는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제2항에 있어서,
상기 주이동체(40)는 원통형이고,
상기 회전 구동부는 상기 주이동체(40)의 측면에 형성되는 가이드 홈(70)과, 상기 가이드 홈(70)에 맞물릴 수 있는 제1가이드 핀(51)을 포함하고,
상기 가이드 홈(70)은, 상기 샤프트(12)의 길이 방향을 중심으로 우측 하방향으로 경사지게 형성되는 복수의 제1경사홈(71) 및 상기 샤프트(12)의 길이 방향을 중심으로 좌측 하방향으로 경사지게 형성되는 복수의 제2경사홈(72)을 포함하며,
상기 제1경사홈(71)과 상기 제2경사홈(72)은 상기 주이동체(40) 측면에 서로 교번하여 배치되고,
인접하는 상기 제1경사홈과 상기 제2 경사홈은 서로 연결되어 톱니 형태의 가이드 핀 이동경로를 형성하는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제3항에 있어서,
상기 제1가이드 핀(51)은 상기 보조이동체보다 위쪽에 위치하고,
상기 가이드 홈(70)은, 상기 샤프트(12)의 길이 방향과 수평하게 형성되는 복수의 제1직선홈(74)을 더 포함하며,
상기 제1직선홈(74)은, 일측이 상기 제1경사홈(71)과 제2경사홈(72)의 연결부 중 상기 주이동체(40)의 상면측으로 형성된 연결부와 연결되고, 다른 일측이 상기 주이동체(40)의 상면 방향으로 형성되어 상기 제1가이드 핀(51)이 상기 제1 경사홈(71)과 제2 경사홈(72)의 연결부에 진입할 수 있는 상방 진입로를 형성하는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제4항에 있어서,
상기 복수의 보조이동체(31, 32, 33, 34, 35, 36)는 서로 일정한 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제5항에 있어서,
상기 복수의 제1직선홈(74)은 서로 일정한 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제6항에 있어서,
상기 레버(41)는 상기 제1직선홈(74)과 일직선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제7항에 있어서,
상기 레버(41)가 상기 보조이동체의 위쪽에 위치된 상태에서 상기 주이동체(40)가 하방 직선운동함에 따라, 상기 레버(41)가 상기 보조이동체의 상단을 압지하여 상기 보조이동체를 하방 직선운동시키는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제8항에 있어서,
상기 보조이동체보다 아래 쪽에 위치하는 제2가이드 핀(52)을 포함하고,
상기 가이드 홈(70)은, 상기 샤프트(12)의 길이 방향과 수평하게 형성되는 복수의 제2직선홈(76)을 더 포함하며,
상기 제2직선홈(76)은, 일측이 상기 제1경사홈과 제2경사홈의 연결부 중 상기 주이동체의 하면측으로 형성된 연결부와 연결되고, 다른 일측이 상기 주이동체의 하면방향으로 형성되어 상기 제2가이드 핀(52)이 상기 제1경사홈과 제2경사홈의 연결부에 진입할 수 있는 하방 진입로를 형성하는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제9항에 있어서,
상기 복수의 제2직선홈(76)은 서로 일정한 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제10항에 있어서,
상기 레버(41)가 상기 보조이동체의 아래쪽에 위치된 상태에서 상기 주이동체가 상방 직선운동함에 따라, 상기 레버(41)가 상기 보조이동체의 하단을 끌어올려 상기 보조이동체를 상방 직선운동시키는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제11항에 있어서,
상기 엑츄에이터는 피에조 모터(10)인 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제12항에 있어서,
상기 보조이동체는 전기신호 측정용 전극이고,
상기 전극은 상기 주이동체의 직선 운동 방향과 평행한 방향으로 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제13항에 있어서,
상기 전극은, 판 형태의 헤드부(31')와 상기 헤드부보다 지름이 작고 상기 헤드부에 수직하게 연장되는 몸체부(31")를 포함하고,
상기 레버가 상기 전극의 아래쪽에 위치된 상태에서 상기 주이동체가 상방 직선운동함에 따라, 상기 레버가 상기 전극의 헤드부(31')의 하단을 끌어올려 상기 전극을 상방 직선운동시키는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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제1항에 있어서,
상기 주이동체(40)의 위치를 감지하는 위치센서부를 더 포함하고,
상기 위치센서부는 상기 주이동체에 결합되는 자석(61) 및 상기 자석의 위치를 감지하는 자기센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 선택형 마이크로 매니퓰레이터
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