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모재, 및
상기 모재 위에 위치하고, FePtSn 합금으로 된 자성 박막층
을 포함하고,
상기 자성 박막층에 포함된 Sn의 양은 0
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제1항에 있어서,
상기 자성 박막층은 0 보다 크고 100㎚ 이하의 두께를 가지고, L10 규칙화 구조를 가지는 자성 박막 부재
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3
제1항에 있어서,
상기 모재와 상기 자성 박막층 사이에 MgO, Ag, CrRu, RuAl 및 Cr로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소를 포함하는 중간층을 더 포함하는 자성 박막 부재
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제1항에 있어서,
상기 모재는 Si(실리콘), MgO(산화마그네슘) 및 쿼츠(quartz)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소를 포함하는 자성 박막 부재
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모재를 제공하는 단계,
상기 모재 위에 철(Fe), 백금(Pt) 및 주석(Sn)을 동시에 증착시켜 FePtSn 합금으로 된 자성 박막층을 제공하는 단계, 및
상기 자성 박막층이 증착된 모재를 300℃ 내지 600℃에서 열처리하는 단계
를 포함하고,
상기 자성 박막을 제공하는 단계에서, 상기 자성 박막에 포함된 Sn의 양은 0
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7
제6항에 있어서,
상기 모재 및 상기 자성 박막층 사이에 중간층을 제공하는 단계를 더 포함하는 자성 박막 부재의 제조 방법
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8
제7항에 있어서,
상기 중간층은 MgO, Ag, CrRu, RuAl 및 Cr로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 원소를 포함하는 자성 박막 부재의 제조 방법
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9
삭제
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