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캔틸레버 센서 및 그 제조방법 그리고 이를 이용한 생체물질 감지장치 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014036527
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 캔틸레버에 흡착된 생체물질을 정확히 정량적으로 분석할 수 있는 캔틸레버 센서 및 그 제조방법 그리고 이를 이용한 생체물질 감지장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 생체물질 감지장치는 일정 거리 이격되어 배치되는 캔틸레버 센서와 기준 전극체의 조합으로 이루어지며, 상기 캔틸레버 센서는 전단부와 후단부로 구분되며, 상기 기준 전극체와 대향되는 캔틸레버 센서의 전단부에는 하부전극, 절연막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 정전용량 측정용 전극체가 구비되고, 상기 캔틸레버 센서의 후단부는 하부전극, 압전막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 구조를 구비되며, 상기 기준 전극체는 기준 하부전극, 절연막 및 기준 상부전극이 순차적으로 적층된 구조를 포함하여 이루어지며, 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극은 상기 압전막과 전기적으로 단선된 것을 특징으로 한다. 캔틸레버, 전기적측정, 생체물질, 정전용량
Int. CL B81B 7/02 (2006.01) G01N 33/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080111411 (2008.11.11)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1053655-0000 (2011.07.27)
공개번호/일자 10-2010-0052611 (2010.05.20) 문서열기
공고번호/일자 (20110803) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.11)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황교선 대한민국 경기도 이천시
2 김태송 대한민국 서울특별시 서초구
3 김상경 대한민국 서울특별시 노원구
4 조원우 대한민국 경기도 용인시 처인구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0777945-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.04.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0029607-18
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0518929-23
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0006925-19
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.02.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0107798-08
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0107797-52
9 등록결정서
Decision to grant		 2011.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0407265-80
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기준 전극체에 대향되어 구비되는 캔틸레버 센서에 있어서, 상기 캔틸레버 센서는 전단부와 후단부로 구분되며, 상기 기준 전극체와 대향되는 캔틸레버 센서의 전단부에는 하부전극, 절연막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 정전용량 측정용 전극체가 구비되고, 상기 캔틸레버 센서의 후단부에는 하부전극, 압전막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 구조가 구비되며, 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극은 상기 압전막과 전기적으로 단선되며, 상기 기준전극체는 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극에 대응되는 위치에 기준 상부전극을 구비하며, 003c#상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극003e#, 003c#상기 기준전극체의 기준 상부전극003e# 및 003c#상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극과 상기 기준전극체의 기준 상부전극 사이에 개재된 유전체003e#를 이용하여 정전용량값 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 상부전극을 포함한 전면 상에 보호막이 더 구비되고, 상기 하부전극의 배면 상에 지지 플레이트가 더 구비되며, 상기 보호막 상에 또는 상기 지지 플레이트의 배면 상에 분자인식층이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 분자인식층은, 감지막과 상기 감지막 상에 구비되어 생체물질을 포집하는 역할을 하는 단원자층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 캔틸레버 센서 후단부의 상부전극 및 정전용량 측정용 전극체의 상부전극을 포함한 전면 상에 보호막이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서
5 5
일정 거리 이격되어 배치되는 캔틸레버 센서와 기준 전극체의 조합으로 이루어지며, 상기 캔틸레버 센서는 전단부와 후단부로 구분되며, 상기 기준 전극체와 대향되는 캔틸레버 센서의 전단부에는 하부전극, 절연막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 정전용량 측정용 전극체가 구비되고, 상기 캔틸레버 센서의 후단부에는 하부전극, 압전막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 구조가 구비되며, 상기 기준 전극체는 기준 하부전극, 절연막 및 기준 상부전극이 순차적으로 적층된 구조를 포함하여 이루어지며, 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극은 상기 압전막과 전기적으로 단선되며, 상기 기준전극체는 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극에 대응되는 위치에 기준 상부전극을 구비하며, 003c#상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극003e#, 003c#상기 기준전극체의 기준 상부전극003e# 및 003c#상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극과 상기 기준전극체의 기준 상부전극 사이에 개재된 유전체003e#를 이용하여 정전용량값 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 정전용량 측정용 전극체의 하부전극, 절연막, 상부전극은 각각 상기 기준 전극체의 기준 하부전극, 절연막, 기준 상부전극과 대향되는 위치에 구비되는 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치
7 7
제 5 항에 있어서, 상기 상부전극을 포함한 전면 상에 보호막이 더 구비되고, 상기 하부전극의 배면 상에 지지 플레이트가 더 구비되며, 상기 보호막 상에 또는 상기 지지 플레이트의 배면 상에 분자인식층이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 분자인식층은, 감지막과 상기 감지막 상에 구비되어 생체물질을 포집하는 역할을 하는 단원자층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치
9 9
제 5 항에 있어서, 상기 캔틸레버 센서 후단부의 상부전극 및 정전용량 측정용 전극체의 상부전극을 포함한 전면 상에 보호막이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치
10 10
기준 전극체에 대향되어 구비되는 캔틸레버 센서의 제조방법에 있어서, 기판 전면 상에 지지 플레이트를 적층하는 단계; 상기 지지 플레이트 전면 상에 하부전극 및 압전막을 순차적으로 적층하여 형성하는 단계; 상기 기판 전면 상에 절연막을 적층하고 선택적으로 패터닝하는 단계; 상기 기판 전면 상에 상부전극 물질을 적층하고 선택적으로 패터닝하여, 상기 기준 전극체에 대향되는 방향의 캔틸레버 센서의 전단부에는 하부전극, 절연막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 정전용량 측정용 전극체 구조를 완성하고, 캔틸레버 센서의 후단부에는 하부전극, 압전막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 구조를 완성하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 기준전극체는 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극에 대응되는 위치에 기준 상부전극을 구비하며, 003c#상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극003e#, 003c#상기 기준전극체의 기준 상부전극003e# 및 003c#상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극과 상기 기준전극체의 기준 상부전극 사이에 개재된 유전체003e#를 이용하여 정전용량값 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 제조방법
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 상부전극 물질의 패터닝시 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극과 상기 압전막이 단락되지 않도록 패터닝하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 제조방법
12 12
제 10 항에 있어서, 상기 정전용량 측정용 전극체의 완성 후, 상기 기판 전면 상에 보호막을 적층하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 제조방법
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 보호막의 적층 후, 상기 기판을 식각, 제거하는 단계; 및 상기 지지 플레이트의 배면 상에 또는 상기 보호막 상에 분자인식층을 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 제조방법
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 분자인식층은, 감지막과 상기 감지막 상에 구비되어 생체물질을 포집하는 역할을 하는 단원자층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서의 제조방법
15 15
캔틸레버 센서 영역과 기준 전극체 영역이 구분된 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 전면 상에 지지 플레이트를 적층하는 단계; 상기 지지 플레이트 전면 상에 하부전극 물질 및 압전막 물질을 순차적으로 적층하는 단계; 상기 캔틸레버 센서 영역의 하부전극 물질 및 압전막 물질을 선택적으로 패터닝하여 하부전극 및 압전막을 형성하고, 상기 기준 전극체 영역의 압전막 물질을 제거하여 기준 하부전극을 형성하는 단계; 상기 기판 전면 상에 절연막을 적층하고 선택적으로 패터닝하는 단계; 상기 기판 전면 상에 상부전극 물질을 적층하고 선택적으로 패터닝하여, 상기 캔틸레버 센서 영역의 전단부에는 하부전극, 절연막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 정전용량 측정용 전극체 구조를 완성하고, 상기 캔틸레버 센서의 후단부에는 하부전극, 압전막 및 상부전극이 순차적으로 적층된 구조를 완성함과 함께, 상기 기준 전극체 영역에는 기준 하부전극, 절연막 및 기준 상부전극이 순차적으로 적층된 기준 전극체 구조를 완성하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 기준전극체는 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극에 대응되는 위치에 기준 상부전극을 구비하며, 003c#상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극003e#, 003c#상기 기준전극체의 기준 상부전극003e# 및 003c#상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극과 상기 기준전극체의 기준 상부전극 사이에 개재된 유전체003e#를 이용하여 정전용량값 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치의 제조방법
16 16
제 15 항에 있어서, 상기 상부전극 물질의 패터닝시 상기 정전용량 측정용 전극체의 상부전극과 상기 압전막이 단락되지 않도록 패터닝하는 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치의 제조방법
17 17
제 15 항에 있어서, 상기 정전용량 측정용 전극체 및 기준 전극체의 완성 후, 상기 기판 전면 상에 보호막을 적층하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치의 제조방법
18 18
제 17 항에 있어서, 상기 보호막의 적층 후, 상기 기판을 캔틸레버 센서 영역과 기준 전극체 영역으로 분리하는 단계; 각 영역의 기판을 식각, 제거하는 단계; 및 상기 캔틸레버 센서 영역의 지지 플레이트의 배면 상에 또는 보호막 상에 분자인식층을 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치의 제조방법
19 19
제 18 항에 있어서, 상기 분자인식층은, 감지막과 상기 감지막 상에 구비되어 생체물질을 포집하는 역할을 하는 단원자층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 생체물질 감지장치의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
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국가 R&D 정보가 없습니다.