맞춤기술찾기

이전대상기술

개선된 구조적, 전기적 및 광학적 특성을 갖는 리튬-도프 산화아연 박막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014036697
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유망한 광대역 반도체로서 산화아연(ZnO) 박막 내에 리튬(Li)을 적절하게 도프함으로 구조적, 전기적 및 광학적 특성을 개선하여 광전자 분야에 있어서의 다양한 요구를 충족할 수 있는 광학적 장치의 제조에 유용하게 사용될 수 있는 고품질 Li-도프 ZnO 박막 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 상기 본 발명의 개선된 구조적, 전기적 및 광학적 특성을 갖는 Li-도프 ZnO 박막의 제조 방법은 펄스 레이저 증착 (pulsed laser deposition; PLD) 기술을 사용하여 Li 이온을 ZnO 내로 특정 조건 하에서 도핑함에 의해 고품질의 ZnO 박막을 제조하여 얻어진 ZnO 박막의 구조적, 전기적 및 광학적 특성에 대한 Li 이온의 도핑 효과를 각종 기기를 사용하여 관찰하여 달성되었다. 상기와 같이 구성되는 본 발명은 펄스 레이저 증착 기술을 사용하여 Li 이온을 ZnO 내로 일정한 조건 하에서 도핑함에 의해 개선된 구조적, 전기적 및 광학적 특성을 갖는 고품질의 ZnO 박막을 용이하게 반복적으로 생산가능하게 한다. 리튬, 박막, 도판트, 산화아연, 광전자, 특성.
Int. CL H01L 21/20 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 21/02565(2013.01)
출원번호/일자 1020080003402 (2008.01.11)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0967628-0000 (2010.06.25)
공개번호/일자 10-2009-0077436 (2009.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20100707) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.11)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 신병철 대한민국 부산 부산진구
2 이원재 대한민국 부산광역시 부산진구
3 푸카이샨 중국 부산광역시 부산진구
4 류국협 중국 부산광역시 부산진구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조경화 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 한림빌딩 *층 (대치동)(국제특허법률사무소 미래연)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0024479-86
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2008.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2008-0177871-14
3 보정요구서
Request for Amendment
2008.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0039286-15
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2008-0251284-48
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.05.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2009-0034816-47
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0341562-51
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.09.23 수리 (Accepted) 4-1-2009-5184999-34
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2009-0637553-13
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0705925-12
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0782713-89
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2010-0033253-34
13 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2010.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0006968-20
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0101834-80
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.02.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0101826-14
16 등록결정서
Decision to grant
2010.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0266726-73
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
펄스 레이저 증착 (pulsed laser deposition; PLD) 기술을 사용하여 리튬(Li) 이온을 ZnO 내로 도핑함에 의해 ZnO 박막을 제조하는 방법으로서, 상기 방법은 고순도 ZnO 분말 내에 0
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제 1항에 있어서, 상기 증착 시간은 1시간으로 함을 특징으로 하는 개선된 구조적, 전기적 및 광학적 특성을 갖는 리튬-도프 ZnO 박막의 제조 방법
7 7
청구항 1 또는 6에 기재된 어느 하나의 방법에 의하여 제조된 것임을 특징으로 하는 개선된 구조적, 전기적 및 광학적 특성을 갖는 리튬-도프 ZnO 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.