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테스트 대상 반도체 장치의 어느 하나의 핀으로 전류를 소싱(sourcing)하거나 싱킹(sinking)하기 위한 반도체 테스트 장치; 및상기 반도체 테스트 장치에 포함되는 다수의 전원부들 중 서로 다른 전원부에 연결되고 상기 핀에 공통 연결되어 상기 테스트 대상 반도체 장치에 전류를 흐르게 하기 위한 정방향 전류 경로부들, 및 상기 정방향 전류 경로부들과 병렬 연결되며, 상기 테스트 대상 반도체 장치로부터 상기 반도체 테스트 장치로 전류를 흐르게 하기 위한 역방향 전류 경로부들을 포함하는 전류 합산 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 테스트 시스템
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제2항에 있어서,상기 정방향 전류 경로부는 상기 반도체 테스트 장치로부터 상기 테스트 대상 반도체 장치로 전류를 흐르게 하기 위한 정방향 다이오드와 상기 정방향 다이오드의 애노드에 연결된 스위치 및 상기 정방향 다이오드의 캐소드에 연결된 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 테스트 시스템
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제3항에 있어서,상기 역방향 전류 경로부는 상기 테스트 대상 반도체 장치로부터 상기 반도체 테스트 장치로 전류를 흐르게 하기 위한 역방향 다이오드와 상기 역방향 다이오드의 애노드에 연결된 스위치 및 상기 역방향 다이오드의 캐소드에 연결된 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 테스트 시스템
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제4항에 있어서,상기 반도체 테스트 장치는 전류 소싱을 위해 상기 정방향 전류 경로부들 중 적어도 일부 정방향 전류 경로부에 속하는 스위치들을 온 제어하며, 전류 싱킹을 위해 상기 역방향 전류 경로부들 중 적어도 일부 역방향 전류 경로부에 속하는 스위치들을 온 제어함을 특징으로 하는 특징으로 하는 반도체 장치 테스트 시스템
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반도체 테스트 장치에 포함되는 다수의 전원부들 중 적어도 일부 전원부로부터 공급되는 전류가 합산되어 테스트 대상 반도체 장치의 어느 하나의 핀에 공급되도록, 상기 다수의 전원부들 중 서로 다른 전원부에 연결되고 상기 테스트 대상 반도체 장치의 상기 핀에 공통 연결되는 정방향 전류 경로부들; 및상기 정방향 전류 경로부들과 병렬 연결되며, 상기 테스트 대상 반도체 장치로부터 상기 반도체 테스트 장치로 전류를 흐르게 하기 위한 역방향 전류 경로부들;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 테스트용 전류 합산 장치
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제6항에 있어서,상기 정방향 전류 경로부는 상기 반도체 테스트 장치로부터 상기 테스트 대상 반도체 장치로 전류를 흐르게 하기 위한 정방향 다이오드와, 상기 반도체 테스트 장치에 의해 온 오프 제어되는 상기 정방향 다이오드의 애노드에 연결된 스위치 및 상기 정방향 다이오드의 캐소드에 연결된 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 테스트용 전류 합산 장치
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제7항에 있어서,상기 역방향 전류 경로부는 상기 테스트 대상 반도체 장치로부터 상기 반도체 테스트 장치로 전류를 흐르게 하기 위한 역방향 다이오드와, 상기 반도체 테스트 장치에 의해 온 오프 제어되는 상기 역방향 다이오드의 애노드에 연결된 스위치 및 상기 역방향 다이오드의 캐소드에 연결된 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 테스트용 전류 합산 장치
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