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미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용하여 구조물의 상면을 접착하는 단계; 및 상기 구조물의 하부에서 상 방향으로 상기 구조물의 하면을 가공하는 단계를 포함하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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제 1 항에 있어서, 상기 구조물과 접착되는 미세섬모의 단부가 오목 형상인 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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제 1 항에 있어서, 상기 구조물은 유리 기판, 반도체 기판, LED 기판, 또는 OLED 기판인 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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제 1 항에 있어서, 상기 가공은 증착, 식각, 확산, 또는 노광인 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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제 1 항에 있어서, 상기 미세섬모에서 증발된 아웃가스를 방출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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제 1 항에 있어서, 상기 구조물 하면에 대한 가공을 수행한 후에상기 구조물을 구부려서 상기 접착시스템으로부터 상기 구조물을 탈거시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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제 6 항에 있어서, 상기 구조물의 가장자리부터 상기 접착시스템에 대한 구조물의 탈거를 수행하는 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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제 1 항에 있어서, 상기 구조물 하면에 대한 가공을 수행한 후에 상기 미세섬모와 상기 구조물 상면의 접착부에 압축공기를 투입하여 상기 접착시스템으로부터 상기 구조물을 탈거시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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제 1 항에 있어서, 상기 구조물은 판상의 구조물이고, 상기 구조물의 처짐이 방지되도록 상기 구조물의 상면에 상기 접착시스템을 복수 개 사용하는 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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제 1 항에 있어서, 상기 미세섬모는 부타디엔, 에폭시, 또는 실리콘으로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공방법
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상 방향에 위치되는 구조물의 하면이 가공되도록 가공공정을 수행하는 가공수단; 및 상기 가공수단의 상부에 형성되어 구조물을 접착할 수 있는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공장치
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제 11 항에 있어서, 상기 가공수단은노광장치, 식각장치, 확산장치, 또는 증착장치인 것을 특징으로 하는 미세섬모를 가지는 접착시스템을 이용한 구조물의 상향식 가공장치
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