요약 | 본 발명의 박막의 부착력 향상을 위한 전처리 장치 및 전처리 방법은, 외부로부터 공급되어 수용된 가스를 압축하여 공정가스를 제공하는 가스 압축기와, 외부로부터 공급되어 수용된 단일금속 또는 합금의 코팅용 분말을 제공하는 분말 공급기 및, 상기 가스 압축기와 상기 분말 공급기로부터 제공되는 상기 공정가스와 상기 코팅용 분말을 콜드 스프레이 방식으로, 박막이 증착되는 모재의 표면상에 분사하여, 상기 모재의 표면상에 다공성 금속 코팅층을 형성시키는 분사 노즐을 포함한다.또한, 단일금속 또는 합금의 모재를 준비하는 제1단계와, 하나 또는 둘 이상의 단일금속 또는 그 합금의 분말로 이루어진 코팅용 분말을 준비하는 제2단계와, 상기 준비된 코팅용 분말과 공정가스를 콜드 스프레이 방식을 이용해 박막이 증착될 모재의 표면에 분사하여, 상기 모재의 표면상에 완충을 위한 다공성 금속 코팅층을 형성시키는 제3단계 및, 상기 코팅층에 금속 재질의 박막을 증착시키는 제4단계를 포함한다. |
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Int. CL | C23C 14/02 (2006.01) C23C 24/04 (2006.01) B05B 7/14 (2006.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020100066419 (2010.07.09) |
출원인 | 아주대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1171535-0000 (2012.07.30) |
공개번호/일자 | 10-2012-0005771 (2012.01.17) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20120807) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2010.07.09) |
심사청구항수 | 4 |