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기판;상기 기판 상에 배치되고, 적어도 하나의 나노선 및 상기 적어도 하나의 나노선 상의 적어도 하나의 신경세포를 포함하는 자극 감지부;상기 기판 상에 결합되고, 상기 적어도 하나의 신경세포의 일부분에 자극을 가하도록 배치된 적어도 하나의 나노프로브를 포함하는 자극 인가부; 및상기 자극 감지부와 상기 자극 인가부가 서로 일체가 되도록 결합시키는 접착 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩
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제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 나노선은 상기 기판 상에 매트릭스 배치된 복수의 나노선들의 어레이 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩
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제 2 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 신경세포는 상기 복수의 나노선들의 어레이 구조들과 결합된 복수의 신경세포들의 어레이 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩
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제 3 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 나노프로브는 상기 복수의 신경세포들에 자극을 가하도록 배치된 복수의 나노프로브들을 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩
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제 1 항에 있어서, 상기 자극 감지부는 상기 적어도 하나의 신경세포를 게이트 전극으로 이용하고, 상기 적어도 하나의 나노선을 채널로 이용하는 적어도 하나의 나노선 전계효과 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩
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제 5 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 나노선 전계효과 트랜지스터는 상기 적어도 하나의 나노선 양단에 연결된 소오스 전극 및 드레인 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩
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제 5 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 나노선 전계효과 트랜지스터는 상기 적어도 하나의 나노선 및 상기 적어도 하나의 신경세포 사이의 폴리라이진(polylysine) 패턴을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩
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제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 나노선은 탄소나노튜브, 실리콘 나노선, 산화아연 나노선 및 산화바나듐 나노선으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩
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적어도 하나의 나노프로브를 포함하는 자극 인가부를 형성하는 단계;기판 상에, 적어도 하나의 나노선 및 상기 적어도 하나의 나노선 상의 적어도 하나의 신경세포를 포함하는 자극 감지부를 형성하는 단계; 및적어도 하나의 나노프로브가 상기 적어도 하나의 신경세포의 일부분에 자극을 가하도록 상기 자극 인가부를 상기 기판 상에 결합시키는 단계를 포함하고,상기 자극 인가부는 멤스(microelectromechanical system, MEMS) 기술을 이용하여 제 1 웨이퍼 상에 상기 적어도 하나의 나노프로브를 결합시켜 형성하고,상기 기판은 제 2 웨이퍼를 포함하고, 상기 자극 인가부를 상기 기판 상에 결합시키는 단계는 상기 제 1 웨이퍼와 상기 제 2 웨이퍼를 접착 부재로 결합시켜 수행하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 나노선은 복수의 나노선들을 포함하고, 상기 자극 감지부를 형성하는 단계는 유전전기영동(dielectrophoresis)법을 이용하여 상기 복수의 나노선들을 상기 기판 상에 정렬시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 자극 감지부를 형성하는 단계는 상기 기판 상에 복수의 나노선 전계효과 트랜지스터들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 자극 감지부를 형성하는 단계는 상기 적어도 하나의 나노선 상에 폴리라이진(polylysine) 패턴을 형성하는 단계; 및상기 폴리라이진 패턴 상에 상기 적어도 하나의 신경세포를 배양하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자극·감지 일체형 바이오-메드 칩의 제조방법
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