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진공챔버; 상기 진공챔버 내에 구비되어 실리콘 원료가 각각 담겨져 다결정 실리콘 잉곳이 제조되는 도가니; 상기 도가니를 감싸 보호하는 써셉터(suseptor); 상기 도가니를 가열시켜 담겨진 실리콘 원료를 용융시키는 히터수단; 상기 써셉터를 지지하도록 수평방향으로 형성된 도가니 지지대; 상기 도가니 지지대의 하측으로 일정간격 이격되고, 이동공이 통공된 단열층; 상기 도가니 지지대의 하측을 지지하도록 구비되는 다수의 지지봉; 상기 단열층 하측에 구비되며, 상기 이동공을 통해 승강되어 상기 도가니를 냉각시키는 냉각수단; 상기 단열층의 이동공보다 크게 형성되어 그 상측을 덮어 개폐시키되, 상기 지지봉을 따라 이동 가능하도록 구비된 도어 기능의 제1단열보호판; 진공챔버 내로 불활성기체를 공급 및 진공내의 불활성기체를 외부로 배출시키는 불활성기체 공급 및 배출부; 상기 도가니의 온도를 측정하는 온도센서; 및 상기 온도센서의 출력값을 받아 도가니 내의 실리콘의 용융 및 균일한 성장이 이루어지도록 상기 히터수단과 냉각수단을 제어하여 도가니 내의 온도를 제어하고, 상기 불활성기체 공급 및 배출부를 제어하여 진공챔버 내의 불활성기체를 일정수준으로 유지시키는 제어부를 포함하여 이루어지며,상기 도가니의 냉각을 위해 냉각수단이 승강될 경우, 상기 제1단열보호판은 다수의 지지봉을 따라 수평상태를 유지시키며 승강되고,상기 지지봉은,상기 이동공에 인접한 단열층에 관통 설치되고,상기 제1단열보호판은 각 지지봉이 관통 설치되는 각 가이드공이 형성되는 것을 특징으로 하는 효과적인 단열보호판을 구비한 태양전지용 다결정 실리콘잉곳 제조장치
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진공챔버; 상기 진공챔버 내에 구비되어 실리콘 원료가 각각 담겨져 다결정 실리콘 잉곳이 제조되는 도가니; 상기 도가니를 감싸 보호하는 써셉터(suseptor); 상기 도가니를 가열시켜 담겨진 실리콘 원료를 용융시키는 히터수단; 상기 써셉터를 지지하도록 수평방향으로 형성된 도가니 지지대; 상기 도가니 지지대의 하측으로 일정간격 이격되고, 이동공이 통공된 단열층; 상기 도가니 지지대의 하측을 지지하도록 구비되는 다수의 지지봉; 상기 단열층 하측에 구비되며, 상기 이동공을 통해 승강되어 상기 도가니를 냉각시키는 냉각수단; 상기 단열층의 이동공보다 크게 형성되어 그 상측을 덮어 개폐시키되, 상기 지지봉을 따라 이동 가능하도록 구비된 도어 기능의 제1단열보호판; 진공챔버 내로 불활성기체를 공급 및 진공내의 불활성기체를 외부로 배출시키는 불활성기체 공급 및 배출부; 상기 도가니의 온도를 측정하는 온도센서; 및 상기 온도센서의 출력값을 받아 도가니 내의 실리콘의 용융 및 균일한 성장이 이루어지도록 상기 히터수단과 냉각수단을 제어하여 도가니 내의 온도를 제어하고, 상기 불활성기체 공급 및 배출부를 제어하여 진공챔버 내의 불활성기체를 일정수준으로 유지시키는 제어부를 포함하여 이루어지며,상기 도가니의 냉각을 위해 냉각수단이 승강될 경우, 상기 제1단열보호판은 다수의 지지봉을 따라 수평상태를 유지시키며 승강되고,상기 지지봉은,상기 이동공에 인접한 단열층에 관통 설치되고,상기 제1단열보호판은 각 지지봉의 일면이 닿아 설치되는 각 가이드홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 효과적인 단열보호판을 구비한 태양전지용 다결정 실리콘잉곳 제조장치
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제1항 또는 제3항에 있어서,상기 단열층의 이동공 외측을 따라 상기 제1단열보호판이 안착될 수 있는 안착홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 효과적인 단열보호판을 구비한 태양전지용 다결정 실리콘잉곳 제조장치
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제1항 또는 제3항에 있어서,상기 도가니 지지대와 이동공이 형성된 단열층 사이 공간을 구획하는 제2단열보호판이 수직방향으로 더 구비되고, 그 내부공간을 따라 냉각수단과 제1단열보호판이 승강되는 것을 특징으로 하는 효과적인 단열보호판을 구비한 태양전지용 다결정 실리콘잉곳 제조장치
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제5항에 있어서,상기 제2단열보호판은 흑연으로 형성되며, 하단이 상기 단열층의 상면과 밀폐되고, 상단은 도가니 지지대의 하면이나 외측면과 밀폐되는 것을 특징으로 하는 효과적인 단열보호판을 구비한 태양전지용 다결정 실리콘잉곳 제조장치
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제5항에 있어서,상기 제2단열보호판은 외측면에 펠트층이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 효과적인 단열보호판을 구비한 태양전지용 다결정 실리콘잉곳 제조장치
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제1항 또는 제3항에 있어서,상기 도가니는 다수 개 구비되고,상기 히터수단은 각 도가니 외측에 각각 구비되어 각 도가니를 가열시키며, 상기 냉각수단은 각 도가니 하측에 각각 구비되어 각 도가니를 냉각시키되, 각 냉각수단이 승강되기 위한 이동공이 상기 단열층에 형성되는 것을 특징으로 하는 효과적인 단열보호판을 구비한 태양전지용 다결정 실리콘잉곳 제조장치
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