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전자빔 조사 장치 및 이에 의한 액정의 배향 방법

  • 기술번호 : KST2014037966
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자빔을 이용하여 배향막을 형성하는 전자빔 조사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 고정하는 기판 홀더와 상기 기판과 소정 간격 이격하여 기판의 법선 방향에 경사지게 전자빔을 조사하는 전자빔 소스를 포함하는 전자빔 조사장치에 있어서, 상기 전자빔의 조사각도와 평행한 홀이 복수개 형성되어 있는 마스크가 상기 기판위에 추가로 장착되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 기판 상에 조사되는 전자빔의 조사각을 제한하여 진공상태가 아닌 대기 조건에서도 균일한 배향막을 형성할 수 있다.
Int. CL H01J 37/30 (2006.01) G02F 1/1337 (2006.01)
CPC H01J 37/30(2013.01) H01J 37/30(2013.01) H01J 37/30(2013.01) H01J 37/30(2013.01) H01J 37/30(2013.01) H01J 37/30(2013.01)
출원번호/일자 1020100124952 (2010.12.08)
출원인 충남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1146632-0000 (2012.05.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120516) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.08)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종현 대한민국 대전광역시 유성구
2 장태석 대한민국 경상북도 김천시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원준 대한민국 대전광역시 서구 둔산대로***번길 **, 골드벤처타워***호 타임국제특허법률사무소 (만년동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0808896-37
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.05.31 수리 (Accepted) 4-1-2011-5108981-12
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.09.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.10.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0085183-87
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0740139-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0066883-19
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.01.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0066882-74
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0189649-95
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.12.26 수리 (Accepted) 4-1-2013-5174286-48
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116889-90
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5116888-44
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번호 청구항
1 1
기판을 고정하는 기판 홀더와 상기 기판과 소정 간격 이격하여 기판의 법선 방향에 경사지게 전자빔을 조사하는 전자빔 소스를 포함하여 전자빔에 의해 기판 상에 배향막을 형성하는 전자빔 조사장치에 있어서,상기 전자빔의 조사각도와 평행한 홀이 복수개 형성되어 있는 마스크가 상기 기판위에 추가로 장착되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 마스크의 재질은 황동, 알루미늄, 구리, 청동, 크롬, 니켈 및 철로 이루어진 군으로부터 선택된 하나의 금속 또는 하나 이상의 금속을 포함하는 합금인 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 마스크의 두께는 0
4 4
제 1 항에 있어서,상기 홀의 직경은 0
5 5
제 1 항에 있어서,상기 홀 간 간격은 0
6 6
제 1 항에 있어서,상기 마스크는 기판에 대해 전후, 좌우로 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치
7 7
제 1 항에 있어서,홀은 기판의 법선방향에 대해 30~60° 내의 특정 각도로 경사지게 형성되어 있으며, 상기 마스크는 기판면에 대하여 소정의 각도로 경사지게 장착될 수 있어 홀의 각도를 조정할 수 있는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치
8 8
기판 홀더에 고정된 기판에 상기 기판과 소정 간격 이격하여 기판의 법선 방향에 경사지게 전자빔을 조사하여 기판 상에 배향막을 형성하는 것에 의한 액정의 배향방법에 있어서,상기 전자빔의 조사각도와 평행한 홀이 복수개 형성되어 있는 마스크를 상기 기판에 추가로 장착하여 전자빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 액정의 배향방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 마스크를 기판의 전후, 좌우로 이동시켜 기판의 전 영역을 고르게 배향시키는 것을 특징으로 하는 액정의 배향 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국과학재단 한국과학재단 원자력연구개발사업 전자빔을 이용한 액정 배향 가능성 연구