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(1) 폴리머 전구체와 용매를 혼합하는 단계;(2) 상기 ''단계 (1)''의 과정을 통하여 얻어진 혼합물에 전도성 탄소재를 분산시키는 단계;(3) 상기 ''단계 (2)''의 과정을 통하여 얻어진 혼합물을 전기방사하여 나노섬유를 제조하는 단계;(4) 상기 ''단계 (3)''의 과정을 통하여 얻어진 나노섬유를 산화시키는 단계;(5) 상기 ''단계 (4)''의 과정을 통하여 산화된 나노섬유를 탄화시키는 단계;(6) 상기 ''단계 (5)''의 과정을 통하여 탄화된 나노섬유를 활성화시키는 단계; 및(7) 상기 ''단계 (6)''의 과정을 통하여 활성화된 나노섬유를 분산용액에 분산시키고, 이를 실리콘 웨이퍼 전극 사이에 증착시켜 가스센서를 제조하는 단계;를 포함하여 이루어지는 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 ''단계 (7)'' 이후에 상기 ''단계 (7)''의 과정을 통하여 얻어진 가스센서를 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 전도성 탄소재는 단일벽 탄소나노튜브, 이중벽 탄소나노튜브, 다중벽 탄소나노튜브, 흑연, 활성탄, 카본블랙, 그라파이트 및 이들의 혼합물로 구성되는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 ''단계 (2)''의 과정을 통하여 얻어지는 혼합물의 점도는 100 내지 500 cP 범위인 것을 특징으로 하는 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 ''단계 (2)''의 상기 ''단계 (1)''의 과정을 통하여 얻어진 혼합물에 전도성 탄소재를 분산시키는 단계에서, 상기 혼합물과 전도성 탄소재의 혼합비는 상기 혼합물 100 중량부를 기준으로 하여 0
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제1항에 있어서,상기 ''단계 (4)''의 산화시키는 과정은 1 내지 5℃/min의 속도로 승온시키고, 최종적으로 200 내지 300℃의 온도범위에서 2 내지 5시간 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 ''단계 (5)''의 탄화시키는 과정은 5 내지 10℃/min의 속도로 승온시키고, 최종적으로 800 내지 1,200℃의 온도범위에서 0
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제1항에 있어서,상기 ''단계 (6)''의 활성화시키는 과정은 수산화칼륨 용액을 가하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 수산화칼륨 용액의 농도는 5 내지 10M 범위인 것을 특징으로 하는 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분산용액은 에탄올, 메탄올, 아세톤, 디메틸포름아미드 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 나노섬유를 이용한 가스센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 분산용액에 분산되는 나노섬유의 비율은 분산용액 100 중량부를 기준으로 0
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제2항에 있어서,상기 열처리는 30 내지 80℃의 온도범위에서 0
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