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이온빔 또는 방사선을 이용한 금속 나노입자 함유 고분자 패턴 및 금속 입자 패턴의 형성 방법

  • 기술번호 : KST2014038483
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이온빔 또는 방사선을 이용한 금속 나노입자 함유 고분자 패턴 및 금속 입자 패턴의 형성 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 금속 나노입자의 전구체가 함유된 고분자 용액을 제조하여 유리, 실리콘 웨이퍼, 또는 다른 고분자 필름 위에 도포하여 고분자 막을 형성시킨 후, 이온빔 또는 방사선을 선택적으로 조사하여 금속 나노입자를 함유한 고분자 패턴을 형성시키고, 이 후에 고분자는 연소를 통해 제거하여 금속 입자 패턴을 형성시키는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 고분자 패턴의 형성 중에 금속 나노입자를 형성시킬 수 있기 때문에 패턴의 형성 과정이 간단하며, 패턴을 형성하는 과정 중에 고분자를 가교시키기 위한 가교제나 금속이온을 환원시키기 위한 환원제 등의 유해한 화학물질들을 사용하지 않아도 되는 장점이 있으며, 다양한 형태의 전도성 패턴을 형성할 수 있기 때문에 무선 주파수 식별기, 바이오 센서, 광학, 촉매 등 많은 분야에 유용하게 사용될 수 있다. 고분자 패턴닝, 금속 나노입자, 방사선, 이온빔, 가교
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01J 37/3174(2013.01) H01J 37/3174(2013.01)
출원번호/일자 1020080112297 (2008.11.12)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1039104-0000 (2011.05.30)
공개번호/일자 10-2010-0053260 (2010.05.20) 문서열기
공고번호/일자 (20110607) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.10)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최재학 대한민국 대전 유성구
2 정찬희 대한민국 광주광역시 북구
3 황인태 대한민국 서울시 강북구
4 김동기 대한민국 충북 청주시 흥덕구
5 노영창 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2008-0782733-57
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2008.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0850342-37
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.11.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0503772-12
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0811536-98
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.12.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0811538-89
6 등록결정서
Decision to grant
2011.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0285295-10
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
고분자 100 중량부에 대하여 금속 나노입자의 전구체 0
2 2
청구항 1 에 있어서, 상기 단계 1 에서, 고분자는 알콜, 에테르, 에스테르, 카르복실산, 니트릴, 아민 또는 아미드 관능 그룹을 갖고 있는 합성 고분자인 폴리비닐알콜, 폴리비닐피롤리돈, 폴리비닐락탐, 폴리비닐아민, 폴리아크릴산, 폴리메타크릴산, 폴리아크릴로니트릴, 폴리에틸렌 글라이콜, 폴리(에틸렌 옥사이드-코-프로필렌 옥사이드-코-에틸렌 옥사이드) 또는 폴리비닐피리딘; 또는 에틸 셀룰로오스, 메틸 셀룰로오스, 하이드록시프로필 셀룰로오스 또는 니트로 셀룰로오스인 셀룰로오스 유도체로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나 혹은 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온빔 또는 방사선을 이용한 금속 나노입자 함유 고분자 패턴 및 이를 이용한 금속 입자 패턴의 형성 방법
3 3
청구항 1 에 있어서, 상기 단계 1 에서 사용되는 금속 나노입자의 전구체는 금, 은, 백금, 구리, 철, 니켈 또는 망간인 금속 나노입자를 형성시킬 수 있는 전구체인 것을 특징으로 하는 이온빔 또는 방사선을 이용한 금속 나노입자 함유 고분자 패턴 및 이를 이용한 금속 입자 패턴의 형성 방법
4 4
청구항 1 에 있어서, 상기 단계 1 에서, 고분자의 함량은 용매 100 중량% 에 대하여 1 중량% ~ 70 중량% 인 것을 특징으로 하는 이온빔 또는 방사선을 이용한 금속 나노입자 함유 고분자 패턴 및 이를 이용한 금속 입자 패턴의 형성 방법
5 5
삭제
6 6
청구항 1 에 있어서, 상기 단계 1에서, 기판은 유리, 실리콘 웨이퍼, 또는 폴리이미드, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트 등과 같은 내열성 고분자인 것을 특징으로 하는 이온빔 또는 방사선을 이용한 금속 나노입자 함유 고분자 패턴 및 이를 이용한 금속 입자 패턴의 형성 방법
7 7
청구항 1 에 있어서, 상기 이온빔의 조사시 총조사량은 1× 1010 내지 1× 1019 ions/cm2 이고, 상기 방사선은 전자빔, 감마선 및 알파선에서 선택되며, 이 중 전자빔의 조사시 총조사량은 1 kGy ~ 1000 kGy 인 것을 특징으로 하는 이온빔 또는 방사선을 이용한 금속 나노입자 함유 고분자 패턴 및 이를 이용한 금속 입자 패턴의 형성 방법
8 8
청구항 1 에 기재된 방법으로 수득한, 금속 나노입자 함유 고분자 패턴 및 이를 이용한 금속 입자 패턴을 포함하는 기판
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.