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13족 금속의 칼코겐화물 박막제조용 화학증기증착용 전구체, 그의 제조방법 및 상기 전구체를 이용한 칼코겐화물 박막

  • 기술번호 : KST2014038691
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화학증기증착법(Chemical Vapor Deposition, 이하 CVD라고 함)으로 인듐을 포함하는 13족(Ga, In, Tl)의 황(S)화물 및 셀레늄(Se)화합물 박막 제조시 유용하게 사용할 수 있는 하기 화학식 1로 표시되는 유기금속 화합물 전구체 및 그의 제조방법과 13족 칼코겐화합물 및 이들의 혼합물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하기 화학식 1의 단일 전구체를 사용하여 저온에서 13족 금속과 칼코겐(S, Se)원소의 조성이 2:3인 황화물 박막을 제공한다. 화학증기증착법, 유기금속 화합물 전구체, 칼코겐
Int. CL C23C 16/30 (2006.01.01) C07F 5/00 (2006.01.01)
CPC C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01)
출원번호/일자 1020050038238 (2005.05.07)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0679640-0000 (2007.01.31)
공개번호/일자 10-2006-0115841 (2006.11.10) 문서열기
공고번호/일자 (20070206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.05.07)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 심일운 대한민국 서울특별시 중구
2 정한철 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤석환 대한민국 서울 동작구
4 이승수 대한민국 서울특별시 양천구
5 서국원 대한민국 서울 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신동준 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2005-0240326-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2006-0028460-97
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0426857-26
5 대리인변경신고서
Agent change Notification
2006.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0625423-46
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.09.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0691052-92
7 의견서
Written Opinion
2006.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2006-0691051-46
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2006.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0708351-73
9 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2006.12.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2006-0041360-11
10 등록결정서
Decision to grant
2007.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0033397-53
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148883-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.07.20 수리 (Accepted) 4-1-2011-5148879-89
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000494-54
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2014-5123944-33
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 유기 금속화합물 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 13족 금속의 칼코겐화물(chalcogeneide) 박막제조용 화학증기증착용 전구체
2 2
하기 반응식에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는, 제1항의 화학식 1로 표시되는 13족 금속의 칼코겐화물 박막제조용 화학증기증착용 전구체의 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 13족 칼코겐화합물이 황화갈륨, 황화인듐, 황화탈륨, 셀렌화갈륨, 셀렌화인듐 및 셀렌화탈륨으로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상기 13족 금속의 칼코겐화물 박막제조용 화학증기증착용 전구체
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항의 화학식 1로 표시되는 13족 금속의 칼코겐화물 박막제조용 화학증기증착용 전구체를 이용하여 화학증기증착법으로 제조된 것을 특징으로 하는 Ga, In 및 Tl로 이루어진 군에서 선택되는 13족 금속: S 또는 Se의 칼코겐 원소간의 조성비율이 2:3인 칼코겐화물 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.