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자기유변유체를 이용한 연마장치로서,시편을 고정하는 시편 고정틀;시편 고정틀과 암수형태로 맞물리는 자성을 가진 연마휠;상호 맞물린 시편 고정틀과 연마휠 사이는 이격되어 있고, 상기 이격된 사이에 주입되는 자기유변유체; 및시편 고정틀 내부에 형성되며 자기유변유체가 순환될 수 있는 순환경로;로 이루어져,상기 시편 고정틀의 회전에 따라 그 사이에 주입된 자기유변유체가 시편 고정틀 내부의 상기 순환경로를 순환하면서 시편 고정틀에 고정된 시편의 표면을 연마하는 순환식 자기유변유체 연마장치
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제 1 항에 있어서,시편 고정틀은 아래로 갈수록 폭이 좁아지는 테이퍼진 형태의 요홈 상에 상기 시편이 고정되고, 연마휠은 시편 고정틀의 상기 요홈과 맞물리는 테이퍼진 형상으로 이루어져서, 시편 고정틀의 회전에 의한 원심력의 영향으로 그 사이에 주입된 자기유변유체가 테이퍼면을 따라 점차 위로 밀려 올라가고, 상기 순환경로를 통해 다시 시편 고정틀 하부로 이동하는 것을 특징으로 하는 순환식 자기유변유체 연마장치
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제 2 항에 있어서,시편 고정틀과 연마휠이 맞물렸을 경우에, 상기 시편 고정틀과 연마휠 사이의 개구단 측 틈새는 연마휠 외주연 상단부 또는 시편 고정틀의 요홈 개구단 측에 설치되는 씰링부재를 통해 밀폐되는 것을 특징으로 하는 순환식 자기유변유체 연마장치
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제 3 항에 있어서,상기 씰링부재는, 테이퍼면을 따라 위로 밀려 올라가는 자기유변유체의 외부 유출을 방지하면서 연마휠에 대한 시편 고정틀의 상대회전을 지지하는 베어링인 것을 특징으로 하는 순환식 자기유변유체 연마장치
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제 3 항에 있어서,상기 씰링부재는, 외력에 의한 내압 증가에 따라 좌우측방으로 탄성 변형되는 특성을 갖는 메카니칼 씰인 것을 특징으로 하는 순환식 자기유변유체 연마장치
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제 5 항에 있어서,씰링부재로서 메카니칼 씰이 적용된 경우에, 상기 요홈 입구 주변의 시편 고정틀 상면에 설치되며 복수의 볼 또는 니들 로울러를 갖는 내륜과, 연마휠 상면에 설치되며 상기 내륜과 분리 또는 정합 가능한 외륜으로 이루어진 스러스트 베어링이 더 설치됨을 특징으로 하는 순환식 자기유변유체 연마장치
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,시편 고정틀과 연마휠이 맞물렸을 경우에 상기 연마휠은 시편 고정틀을 향해 일정한 힘으로 가압되는 것을 특징으로 하는 순환식 자기유변유체 연마장치
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