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고온 내 부식성 향상을 위한 세라믹 코팅 및 이온빔 믹싱장치 및 이를 이용한 박막의 계면을 개질하는 방법

  • 기술번호 : KST2014038799
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고온 내 부식성 향상을 위한 세라믹 코팅 및 이온빔 믹싱 장치 및 이를 이용한 박막의 계면을 개질하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 상기 코팅 및 이온 빔 믹싱 장치를 이용하여 공정을 한 시편은 접합성이 향상되고 모재를 강화시켜 고온에서의 열응력에 대한 저항뿐만 아니라 수소생산을 위한 황산분해기에 사용될 소재의 고온 부식 저항성이 크게 향상될 수 있다. 코팅 및 이온빔 믹싱, 박막 계면 개질
Int. CL C23C 14/46 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020060047855 (2006.05.27)
출원인 한국원자력연구원, 한국수력원자력 주식회사
등록번호/일자 10-1052036-0000 (2011.07.20)
공개번호/일자 10-2007-0114234 (2007.11.30) 문서열기
공고번호/일자 (20110726) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.07)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국수력원자력 주식회사 대한민국 경상북도 경주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재원 대한민국 대전광역시 유성구
2 박창규 대한민국 대전광역시 유성구
3 장종화 대한민국 대전시 유성구
4 최병호 대한민국 대전 유성구
5 김용완 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국수력원자력 주식회사 대한민국 경상북도 경주시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0374490-74
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2006.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2006-0387091-64
3 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2006.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0426450-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2007-5073714-01
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2007-5085193-38
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.07.26 수리 (Accepted) 4-1-2007-5117707-02
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.07.26 수리 (Accepted) 4-1-2007-5117973-29
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2008-5145739-98
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2008.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2008-0772358-59
10 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.02.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
11 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.03.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0015697-23
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2010-5177354-66
13 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0540128-30
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0065329-34
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.01.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0065330-81
16 등록결정서
Decision to grant		 2011.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0399001-11
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.03.18 수리 (Accepted) 4-1-2016-5034922-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공상태의 반응실 내에서 전자빔을 코팅재 용기에 조사하여 세라믹 소재의 코팅재를 용융 및 기화시키는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 용융 및 기화된 세라믹 소재의 코팅재를 금속 소재의 모재에 코팅하는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2에서 코팅된 금속 모재와 세라믹 코팅층 간의 계면을 혼합하기 위해 코팅된 모재 표면이 이온빔 조사장치로부터 조사되는 이온빔에 노출시키기 위해 이온빔 주입구와 정면으로 대면되도록 회전하여 이온빔을 조사하는 단계(단계 3)를 포함하여 이루어지며, 상기 이온빔 조사장치에 사용되는 원소는 모재의 조성과 코팅재의 조성의 이동(異同)에 의존하고, 이온빔 에너지의 크기는 50 내지 500 KeV인 것을 특징으로 하는, 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 코팅재는 SiO2, Al2O3 및 TiO2로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 1종인 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 코팅은 스퍼터링법(sputtering) 또는 증착법(evaporation)을 포함하는 물리기상 증착법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 모재는 Alloy 800H, Alloy 690, Hastelloy X, Hayness230, Hayness556, CX2002U 복합재료, Alloy X750, Alloy 718, Sanicro28 및 스테인레스 스틸로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 1종인 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
제1항에 있어서, 상기 모재의 조성과 코팅재의 조성이 동일한 경우, 상기 이온빔 조사장치에 사용되는 원소는 자연계에 존재하는 모든 원소를 단독 또는 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 모재의 조성과 코팅재의 조성이 다른 경우, 상기 이온빔 조사장치에 사용되는 원소는 코팅재를 구성하는 원소들 중 상대적으로 부족한 조성비를 갖는 원소를 사용하는 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
12 12
제1항에 있어서, 상기 이온빔 조사장치에 사용되는 원소는 탄소, 질소, 산소, 실리콘, 알루미늄, 헬륨, 네온, 아르곤 및 티탄으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 1종의 원소를 단독으로 또는 이들을 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
13 13
제1항에 있어서, 상기 코팅 및 이온빔의 조사는 코팅재 및 모재의 특성에 따라 1회 또는 수회로 나누어서 수행하는 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
14 14
제13항에 있어서, 상기 코팅 및 이온빔 조사는 코팅재 및 모재 사이의 열적 성질의 상이한 정도가 클수록 수회로 나누어서 코팅을 수행하는 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
15 15
제14항에 있어서, 코팅을 수회로 나누어서 수행하는 경우, 상기 이온빔 조사는 각 코팅 공정의 사이에 수행하는 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
16 16
제1항에 있어서, 상기 이온빔 조사장치로부터 조사되는 이온빔의 에너지 크기 및 주입량은 1회 또는 수회로 나누어서 코팅되는 각각의 코팅층의 두께에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
17 17
제16항에 있어서, 상기 이온빔의 주입량은 1×1017 내지 1×1017 이온/cm2인 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
18 18
제16항에 있어서, 상기 각각의 코팅층의 두께는 20 내지 200 nm인 것을 특징으로 하는 모재와 코팅층 계면의 접착성 및 치밀성을 향상시키는 방법
19 19
삭제
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순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP05097936 JP 일본 FAMILY
2 JP21538980 JP 일본 FAMILY
3 US09028923 US 미국 FAMILY
4 US20100032288 US 미국 FAMILY
5 US20120135157 US 미국 FAMILY
6 WO2007139258 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 GB0821415 GB 영국 DOCDBFAMILY
2 GB2452182 GB 영국 DOCDBFAMILY
3 GB2452182 GB 영국 DOCDBFAMILY
4 JP2009538980 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP2009538980 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP2009538980 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 JP5097936 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 US2010032288 US 미국 DOCDBFAMILY
9 US2012135157 US 미국 DOCDBFAMILY
10 US9028923 US 미국 DOCDBFAMILY
11 WO2007139258 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
12 WO2007139258 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.