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극초정밀 3자유도 위치를 발생시키는 이송 플레이트와,상기 이송 플레이트와 나사 체결부에 의해 체결되어 원하는 위치만을 전달하고 다른 방향에서 발생되는 변위를 차단하여 단일방향의 변위를 발생하는 X축 플렉셔와,상기 X축 플렉셔와 핀 체결부에 의해 체결되어 원하는 위치만을 전달하고 다른 방향에서 발생되는 변위를 차단하여 단일방향의 변위를 발생하는 Y축 플렉셔와,상기 Y축 플렉셔와 핀 체결부에 의해 체결되어 원하는 위치만을 전달하고 다른 방향에서 발생되는 변위를 차단하여 단일방향의 변위를 발생하는 Z축 플렉셔와,상기 Z축 플렉셔와 나사 체결부에 의해 체결되고, 다른 조동 정렬 장치와 체결이 가능한 베이스와,상기 X축 플렉셔, 상기 Y축 플렉셔, 상기 Z축 플렉셔에 극초정밀 변위를 발생하는 3개의 압전 액츄에이터와, 상기 압전 액츄에이터와 상기 X축 플렉셔, 상기 Y축 플렉셔, 상기 Z축 플렉셔로 구성된 극초정밀 다축 스테이지의 3자유도 위치를 검출하는 정전용량형 센서와,상기 이송플레이트와 체결하여 정렬의 대상이 되는 광소자와,상기 광소자에 광신호를 내보내는 입력부와 상기 광소자에서 광신호를 받는 출력부로 이루어져 광신호를 광파워 값(dBm)으로 변환할 수 있는 광파워미터와,상기 광파워미터와 상기 광소자 사이에서 광신호의 안내 역할을 하는 광섬유와,상기 X축 플렉셔, 상기 Y축 플렉셔, 상기 Z축 플렉셔가 갖는 히스테리시스 오차를 역히스테리시스 모델링을 통해 구한 3차 보간식을 적용하여 정밀한 위치제어가 가능하도록 상기 압전 액츄에이터로 내보내는 신호를 제어하고, 영역 탐색 알고리듬과 극점 탐색 알고리듬을 구현할 수 있는 신호를 제어하고, 상기 광파워미터의 광신호를 검출하여 데이터를 분석하고 제어할 수 있는 중앙컴퓨터와,상기 중앙컴퓨터에 상기 정전용량형 센서와 상기 광파워미터의 데이터를 검출하는 터미널이 되고, 상기 중앙컴퓨터에서 제어된 신호를 상기 압전 액츄에이터로 내보는 터미널이 되는 중앙제어장치로 이루어진 극초정밀 광소자 정렬 장치
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제 1 항에 있어서,상기 압전 액츄에이터에 구동 전압 신호를 줄 수 있도록 증폭하는 압전 액츄에이터 앰플리파이어와,상기 정전용량형 센서에서 발생한 전기 신호를 증폭하는 정전용량형 센서 앰플리파이어와,상기 중앙컴퓨터에 위치하여 상기 정전용량형 센서로부터 입력되는 상기 이송 플레이트의 변위 신호를 디지털 신호로 변환하기 위한 아날로그/디지털 변환기와,상기 중앙컴퓨터에 위치하여 상기 정전용량형 센서로부터 입력되는 신호를 상기 아날로그/디지털 변환기로 변환하여 상기 중앙컴퓨터에서 히스테리시스 오차를 보상한 신호를 상기 압전 액츄에이터에 아날로그 신호로 변환하여 전기적인 신호를 생성하는 디지털/아날로그 변환기와,상기 중앙컴퓨터에 위치하여 상기 광파워미터의 광신호를 광파워 값(dBm)으로 변환하여 상기 중앙컴퓨터와 통신할 수 있는 GPIB 보드를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 극초정밀 광소자 정렬 장치
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