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연마패드 컨디셔닝 장치

  • 기술번호 : KST2014038906
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연마패드의 오염물을 제거하여 전체적인 수명을 연장하고, 연마특성을 향상시키기 위한 연마패드 컨디셔닝 장치를 제공하기 위한 것이다. 상기 연마패드 컨디셔닝 장치는 하우징과; 상기 하우징에 장착되어 연마패드를 컨디셔닝하는 컨디셔너 패드와; 상기 하우징에 장착되어 탈이온수를 배출하는 노즐과; 상기 하우징에 장착되어 상기 노즐 내부로 유동하는 탈이온수를 가열하는 가열장치와; 상기 탈이온수의 온도를 감지하는 온도센서와; 상기 온도센서로부터 데이터를 받아들여 상기 가열장치의 온도를 조절하는 제어부; 를 포함하여 이루어진다. 연마패드, 컨디셔닝, 탈이온수
Int. CL B24B 53/017 (2012.01.01) B24B 53/12 (2006.01.01) B24B 53/02 (2006.01.01) B24D 3/10 (2006.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01)
CPC B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01) B24B 53/017(2013.01)
출원번호/일자 1020070115738 (2007.11.13)
출원인 조선대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0908017-0000 (2009.07.09)
공개번호/일자 10-2009-0049471 (2009.05.18) 문서열기
공고번호/일자 (20090715) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.13)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우선 대한민국 광주 남구
2 박성우 대한민국 전남 목포시
3 최권우 대한민국 광주 서구
4 한상준 대한민국 전남 순천시
5 이영균 대한민국 인천 남동구
6 서용진 대한민국 광주 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이정현 대한민국 경기도 안산시 단원구 광덕서로 **, ***호(고잔동, 한남법조빌딩)(엔아이피씨국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0814454-74
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.09.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2008-0066750-82
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0026371-82
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2009-0090632-92
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.02.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0090643-94
7 등록결정서
Decision to grant
2009.05.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0191399-85
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.12 수리 (Accepted) 4-1-2010-5149329-23
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2011-5189513-90
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004365-05
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.04.21 수리 (Accepted) 4-1-2014-5049090-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-5106192-07
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5199091-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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반도체 웨이퍼용 연마패드를 복원시키기 위한 컨디셔닝장치에 있어서, 하우징과; 상기 하우징에 장착되어 연마패드를 컨디셔닝하는 컨디셔너 패드와; 상기 하우징에 장착되어 탈이온수를 배출하는 노즐과; 상기 하우징에 장착되고, 상기 노즐을 통해 외부로 배출되는 탈이온수를 가열하여 고온상태로 배출되게 하는 가열장치와; 상기 탈이온수의 온도를 감지하는 온도센서와; 상기 온도센서로부터 데이터를 받아들여 상기 가열장치의 온도를 조절하는 제어부;를 포함하여 이루어지되, 상기 가열장치는 코일 형상의 발열선으로 이루어져 상기 노즐을 감싸고 있고, 상기 컨디셔너 패드는 상기 하우징의 하면에 나사로 체결 고정되는 것을 특징으로 하는 연마패드 컨디셔닝장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.