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다직경 실리콘 와이어 구조체의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014038960
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실리콘 기판 표면에 에칭 마스크를 패터닝하는 단계; 및 상기 에칭 마스크가 패터닝된 상기 실리콘 기판 표면에 대해 화학적 에칭을 수행하는 단계를 포함하되, 상기 화학적 에칭은 식각 용액의 조성, 식각 시간, 식각 용액의 온도로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나의 공정 조건을 연속적으로 변화시켜 수행함으로써, 길이 방향의 직경이 변하는 실리콘 와이어를 형성하는 다직경 실리콘 와이어 구조체의 제조방법이 제공된다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01)
CPC H01L 21/02019(2013.01) H01L 21/02019(2013.01)
출원번호/일자 1020110029666 (2011.03.31)
출원인 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자 10-1164113-0000 (2012.07.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120712) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.31)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최호진 대한민국 대구광역시 달서구
2 장환수 대한민국 대구광역시 달서구
3 백성호 대한민국 대구광역시 동구
4 김재현 대한민국 대구광역시 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남정길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 인화빌딩 *층 (삼성동)(특허법인(유한)아이시스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대구 달성군 현
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0236392-67
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0242279-02
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.02.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0121654-42
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.04.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0334354-43
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0334355-99
6 등록결정서
Decision to grant
2012.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0289805-34
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5164108-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5164104-34
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2013-5149764-85
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 기판 표면에 에칭 마스크를 패터닝하는 단계; 및상기 에칭 마스크가 패터닝된 상기 실리콘 기판 표면에 대해 화학적 에칭을 수행하는 단계를 포함하되,상기 화학적 에칭은 식각 용액의 조성, 식각 시간, 식각 용액의 온도로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나의 공정 조건을 연속적으로 변화시켜 수행함으로써, 길이 방향의 직경이 변하는 실리콘 와이어를 형성하는 실리콘 와이어 구조체의 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 실리콘 기판 표면에 금속촉매를 증착하는 단계를 더 포함하는 실리콘 와이어 구조체의 제조방법
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제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 식각 용액 내 산화제의 농도를 높이거나 식각 용액의 온도를 높임에 따라 실리콘 와이어의 직경이 감소하는 실리콘 와이어 구조체의 제조방법
4 4
제1 항 또는 제2 항에 있어서,산화제의 농도가 서로 다른 적어도 2종의 식각 용액을 연속적으로 처리하는 실리콘 와이어 구조체의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 대구경북과학기술원 미래유망 융합기술 피이오니어 사업 초고효율 태영전지 제작을 위한 와이어 어레이 제작 및 이송