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차량 검출 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014038968
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 저온의 제1원 냉매를 통하여 척(120)으로 공급되는 제2원 냉매를 냉각시켜 챔버(110)에 구비된 척(120)을 저온으로 변환시키기 위하여 압축기(131), 응축기(132), 팽창밸브(133) 및 열교환기(134)를 포함하는 냉각시스템(130)과; 척(120)을 고온으로 변환시키기 위하여 척(120)에 일체로 형성된 가열기(141)를 통해 척(120)을 가열시키는 가열시스템을 포함하며, 상기 냉각시스템(130)은 압축기(131)와 응축기(132) 사이에 구비되는 기액분리기(135)에 의해 기체와 액체로 분리된 제1원 냉매 중 액상의 고온 상태를 가지는 제1원 냉매를 열교환기(134)의 제2원 냉매가 저장된 탱크(134a) 외부로 유도하여 상기 탱크(134a) 내부의 제2원 냉매와 열교환되게 한 후 다시 압축기(131)로 유도하는 유도관(135a)을 포함하는 압축 효율 향상을 가지는 반도체 냉각 시스템이 제공된다.
Int. CL H01L 21/66 (2014.01) G01R 31/26 (2014.01) H05K 7/20 (2014.01)
CPC G01R 31/2865(2013.01) G01R 31/2865(2013.01) G01R 31/2865(2013.01) G01R 31/2865(2013.01)
출원번호/일자 1020100114985 (2010.11.18)
출원인 (주) 디이에스
등록번호/일자 10-1151402-0000 (2012.05.23)
공개번호/일자 10-2012-0053718 (2012.05.29) 문서열기
공고번호/일자 (20120608) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주) 디이에스 대한민국 경기도 오산시 경기대

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양성철 대한민국 경기 화성시 봉담
2 유성옥 대한민국 경기도 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서동원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, 혜천빌딩 ***호 (역삼동)(굿모닝국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주) 디이에스 경기도 오산시 경기대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2010-0754526-60
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0054445-56
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.02.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0087858-14
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0087890-76
5 등록결정서
Decision to grant		 2012.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0291557-19
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.23 수리 (Accepted) 4-1-2013-0014915-12
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.03.22 수리 (Accepted) 4-1-2016-5035767-30
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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저온의 제1원 냉매를 통하여 척(120)으로 공급되는 제2원 냉매를 냉각시켜 챔버(110)에 구비된 척(120)을 저온으로 변환시키기 위하여 제1원 냉매를 고온고압으로 압축하기 위한 압축기(131), 압축기(131)에 의하여 압축된 제1원 냉매를 저온고압으로 응축하기 위한 응축기(132), 응축기에 의하여 응축된 제1원 냉매를 저온저압의 기체상태의 냉매로 팽창시키기 위한 팽창밸브(133) 및 팽창밸브(133)에 의하여 팽창된 제1원 냉매에 대하여 제2원 냉매를 열교환시키기 위한 열교환기(134)를 포함하는 냉각시스템(130)과;척(120)을 고온으로 변환시키기 위하여 척(120)에 일체로 형성된 가열기(141)를 통해 척(120)을 가열시키는 가열시스템을 포함하며, 상기 냉각시스템(130)은 압축기(131)와 응축기(132) 사이에 구비되는 기액분리기(135)에 의해 기체와 액체로 분리된 제1원 냉매 중 액상의 고온 상태를 가지는 제1원 냉매를 열교환기(134)의 제2원 냉매가 저장된 탱크(134a) 외부로 유도하여 상기 탱크(134a) 내부의 제2원 냉매와 열교환되게 한 후 다시 압축기(131)로 유도하는 유도관(135a)을 포함하는 것을 특징으로 하는 압축 효율 향상을 가지는 반도체 냉각 시스템
2 2
제1항에 있어서, 유도관(135a)은 열교환기(134)의 탱크(134a)의 외벽을 코일 형상으로 감싸도록 하여 제1원 냉매가 탱크(134a)의 제2원 냉매와 열교환되는 것을 특징으로 하는 압축 효율 향상을 가지는 반도체 냉각 시스템
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제1항에 있어서, 기액분리기(135)로부터 열교환기(134)의 사이의 유도관(135a)에 보조탱크(135b)가 구비되며,상기 유도관(135a)에 보조탱크(135b)의 개폐를 제어하는 제어밸브(135c)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압축 효율 향상을 가지는 반도체 냉각 시스템
4 4
제3항에 있어서, 제어밸브(135c)는 열교환기(134)의 열용량 또는 스테이지의 가열 여부에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 압축 효율 향상을 가지는 반도체 냉각 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.