기술개요
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탄소 박막 제조 방법, 탄소 박막 및 탄소 박막을 포함한 전자 소자가 제공된다.탄소계 재료는, 일반적으로, 다이아몬드, 그래파이트, 그래핀 및 비정질 탄소로 분류될 수 있다. 이 중, 다이아몬드는 탄소 원자 간이 sp3결합으로 연결되어있기 때문에 전기 전도성을 전혀 띠지 않지만, 그래파이트는 sp2로만 이루어져 있어전도성이 우수하다. 한편, 비정질 탄소는 sp3결합과 sp2결합을 모두 가지므로, 그래파이트보다는 낮은 전기 전도성을 가질 수 있다. 그래파이트의 경우, 금속과 비슷한 수준의 전도성으로 인해 반도체 산업에서는 그래파이트를 사용하는 데에 한계가 있다. 이를 해결하는 물질로 최근에 각광받고 있는 그래핀은 전기 전도도, 전자 이동도 측면에서 높은 값을 가지기 때문에 반도체 산업에서도 응용성이 커서 많이 연구가 되고 있는 추세이다.
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