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초소형 정밀 부품을 사출 성형 방식으로 제작하기 위한 마이크로 몰드 시스템에 있어서,미세 요철이 형성된 성형면을 구비하면서 바닥에서 상기 성형면까지의 높이가 서로 다른 적어도 두 종류의 베이스 몰드를 포함하며, 다단 구조의 제1 스케일과 미세 요철 구조의 제2 스케일이 조합된 다중 스케일의 성형면을 제공하고, 상기 적어도 두 종류의 베이스 몰드는 순서 변경이 가능하도록 임의로 조합되는 마이크로 몰드 시스템
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제1항에 있어서,상기 적어도 두 종류의 베이스 몰드는 서로 이웃하는 방향을 따라 가해지는 외력에 의해 서로 밀착되는 마이크로 몰드 시스템
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제2항에 있어서,상기 성형면은 상기 바닥과 평행하게 위치하는 마이크로 몰드 시스템
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제2항에 있어서,상기 성형면은 경사면으로 형성되는 마이크로 몰드 시스템
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제4항에 있어서,상기 적어도 두 종류의 베이스 몰드 중 어느 한 베이스 몰드의 성형면과 다른 한 베이스 몰드의 성형면은 경사 방향이 서로 반대인 마이크로 몰드 시스템
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제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 적어도 두 종류의 베이스 몰드 중 어느 한 베이스 몰드의 성형면과 다른 한 베이스 몰드의 성형면은 동일선 상에 위치하는 철부를 포함하는 마이크로 몰드 시스템
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제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 적어도 두 종류의 베이스 몰드 중 어느 한 베이스 몰드의 성형면과 다른 한 베이스 몰드의 성형면은 서로 어긋나게 위치하는 철부를 포함하는 마이크로 몰드 시스템
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금속판 위에 모 기판을 부착하는 단계;상기 모 기판 위에 노광 마스크를 형성한 후 패터닝하여 일측에 미세 요철을 구비하면서 높이가 서로 다른 적어도 두 종류의 개구부를 형성하는 단계;상기 모 기판을 엑스선과 자외선 중 어느 하나로 노광 후 현상하여 상기 모 기판에 상기 개구부와 같은 형상을 가지는 적어도 두 종류의 음각 패턴을 형성하는 단계;상기 음각 패턴에 의해 노출된 상기 금속판 위에 금속 물질을 도금하여 상기 음각 패턴과 같은 형상을 가지는 적어도 두 종류의 베이스 몰드를 제조하는 단계;상기 적어도 두 종류의 베이스 몰드를 미세 요철이 형성된 성형면이 같은 측에 위치하도록 조합 후 상기 베이스 몰드가 조합된 방향을 따라 외력을 가하여 밀착시키는 단계를 포함하는 마이크로 몰드 시스템의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 모 기판은 엑스선 감광재와 자외선 감광재 중 어느 하나로 제조되고, 상기 노광 마스크는 엑스선 흡수재와 자외선 흡수재 중 어느 하나로 제조되는 마이크로 몰드 시스템의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 노광 마스크의 개구부를 형성할 때 상기 미세 요철이 형성된 일측면이 상기 개구부의 바닥과 평행하도록 형성하는 마이크로 몰드 시스템의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 노광 마스크의 개구부를 형성할 때 상기 미세 요철이 형성된 일측면이 상기 개구부의 바닥에 대해 경사각을 갖도록 형성하는 마이크로 몰드 시스템의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 베이스 몰드를 조합할 때 서로 이웃한 두 베이스 몰드에서 상기 미세 요철이 형성된 성형면의 경사 방향이 반대가 되도록 조합하는 마이크로 몰드 시스템의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 금속판 위에 금속 물질을 도금할 때 니켈 또는 니켈 합금을 전기 도금하는 마이크로 몰드 시스템의 제조 방법
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미세 요철이 형성된 성형면을 구비하면서 바닥에서 상기 성형면까지의 높이가 서로 다른 적어도 두 종류의 베이스 몰드를 제작하는 단계;사출 성형용 몰드 코어의 내부에 상기 적어도 두 종류의 베이스 몰드를 상기 성형면이 노출되도록 조합 배치하여 다단 구조의 제1 스케일과 미세 요철 구조의 제2 스케일이 조합된 다중 스케일의 성형면을 제공하는 단계;상기 성형면을 통해 플라스틱을 사출 성형하여 상기 성형면과 반대 형상의 성형면을 가지는 다중 스케일의 초소형 정밀 부품을 제조하는 단계를 포함하는 초소형 정밀 부품의 제조 방법
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