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탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법 및 탄소 나노 튜브 필름 기반 센서

  • 기술번호 : KST2014039259
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 바닥에 떠 있는 형태의 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법은, 기판 상에 전극을 형성하는 단계, 상기 전극 상에 복수의 탄소 나노 튜브를 포함하는 서스펜션(suspension)을 배치하는 단계 및 상기 전극에 전압을 인가하여 상기 탄소 나노 튜브를 상기 전극 상에 배치하는 단계를 포함한다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01)
출원번호/일자 1020100074182 (2010.07.30)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1223475-0000 (2013.01.11)
공개번호/일자 10-2012-0012184 (2012.02.09) 문서열기
공고번호/일자 (20130117) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.30)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임근배 대한민국 경북 포항시 남구
2 안태창 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0496042-99
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2010.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-5026480-66
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.10.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.11.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0090625-84
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0317078-49
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.07.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0609078-18
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0609081-56
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0800722-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 서로 일정거리를 두고 형성된 한 쌍의 전극 각각의 일 측 끝 단이 위치하는 홈을 기판상에 형성하는 단계;상기 한 쌍의 전극 각각의 상기 일 측 끝 단 상에 복수의 탄소 나노 튜브를 포함하는 서스펜션(suspension)을 배치하는 단계; 및상기 한 쌍의 전극에 전압을 인가하여 상기 탄소 나노 튜브를 서로 이격된 한 쌍의 전극들을 연결하도록 상기 한 쌍의 전극 상에 배치하는 단계;를 포함하는 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 탄소 나노 튜브는 탄소 나노 튜브 네트워크(carbon nanotube network)로 형성되는, 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 한 쌍의 전극을 형성하는 단계는, 질화규소를 상기 기판 상에 증착시키는 단계; 금속을 상기 질화규소 상에 패터닝하는 단계; 및 상기 한 쌍의 전극을 패터닝하는 단계;를 포함하고,상기 기판 상에 상기 홈을 형성하는 단계는 상기 한 쌍의 전극의 일 측 끝 단의 하부에 위치하는 질화규소를 에칭하는 단계를 포함하며, 상기 한 쌍의 전극을 보호하기 위해 포토 레지스트를 형성하는 단계를 더 포함하는, 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 질화규소 상에 패터닝되는 상기 금속은 금을 포함하는, 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법
7 7
제5항에 있어서,상기 금속을 패터닝하는 단계는 리프트-오프 공정(lift off process)을 통해 수행되는, 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법
8 8
제5항에 있어서,상기 한 쌍의 전극을 패터닝하는 단계는 반응성 이온 에칭(reactive ion etching, RIE)을 통해 수행되는, 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 서스펜션은 탄소 나노 튜브를 포함하는 산성 용액을 중화시키고 초음파 처리하여 형성하는, 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 산성 용액은 황산과 질산을 3:1의 부피비로 혼합하여 형성하는, 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법
11 11
제1항에 있어서,상기 전극에 인가되는 전압은 교류 전압인, 탄소 나노 튜브 필름의 제조 방법
12 12
홈이 형성된 기판;상기 기판 상에서 상기 홈을 가로질러 형성되고, 상기 홈에 대응하는 부분에서 갭을 형성하는 한 쌍의 전극; 및상기 갭에 형성되어 상기 한 쌍의 전극을 연결하는 탄소 나노 튜브 필름;을 포함하는 탄소 나노 튜브 필름 기반 센서
13 13
제12항에 있어서,상기 탄소 나노 튜브 필름은 카르복시기(-COOH)를 포함하는, 탄소 나노 튜브 필름 기반 센서
14 14
제12항에 있어서,상기 한 쌍의 전극은 금을 포함하는, 탄소 나노 튜브 필름 기반 센서
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1 교육과학기술부 포항공과대학교 산학협력단 중견_핵심연구_협동 환경독성 유기인 화합물 검출을 위한 전세포 생물 촉매 기반의 고성능 차세대 전기화학 나노바이오 센서 개발