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요약
Int. CL
CPC
출원번호/일자
1020100097996
출원인
등록번호/일자
공개번호/일자
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태
심사진행상태
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자
심사청구항수
0
인명정보가 없습니다
행정처리가 정보가 없습니다
청구항 정보가 없습니다
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.
공개전문 정보가 없습니다
등록사항 정보가 없습니다
통합행정정보가 없습니다
기술번호
KST2014039269
자료제공기관
NTB
기술공급기관
기술명
나노 와이어를 이용한 나노 패턴의 제조 방법
기술개요
본 발명의 일 측면에 따라 나노 간격을 갖는 패턴의 형성 방법이 제공된다. 상기 나노 간격을 갖는 패턴의 형성 방법은 1㎜ 내지 3㎜의 노즐과 콜렉터 사이의 거리를 갖고, 상기 노즐에 대하여 이동 가능한 상기 콜렉터를 포함하는 전기장 보조 로보틱 노즐 프린터를 이용하여 기판 위에 나노 와이어 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 나노 와이어 마스크 패턴이 형성된 상기 기판의 전면(全面) 위에 물질층을 형성하는 단계; 및 상기 나노 와이어 마스크 패턴이 형성되지 않은 부분의 상기 물질층만 남도록 상기 기판으로부터 상기 나노 와이어 마스크 패턴을 제거하는 단계; 를 포함한다