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간섭 효과를 이용한 빔 진단 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014039314
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 간섭 효과를 이용한 빔 진단 장치 및 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 빔 진단 장치는 광이 발생되는 광원, 입사된 상기 광을 통과시키는 슬릿, 상기 광원과 상기 슬릿 사이에 구비되어 상기 슬릿의 전반부에 상기 광의 이미지를 형성시키는 이미지 형성 수단 및 상기 슬릿을 통과하여 조사된 상기 광에 의하여 간섭 무늬가 형성되는 검출 수단을 포함함으로써, 간섭 효과를 이용하여 보다 효과적으로 빔을 진단할 수 있다. 광원, 간섭, 진단, 렌즈, 이미지
Int. CL G01J 3/45 (2006.01) G01J 9/02 (2006.01)
CPC G01J 3/4531(2013.01) G01J 3/4531(2013.01) G01J 3/4531(2013.01) G01J 3/4531(2013.01)
출원번호/일자 1020090001275 (2009.01.07)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1071468-0000 (2011.09.30)
공개번호/일자 10-2010-0081855 (2010.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20111010) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.07)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박용운 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 김창범 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 황정연 대한민국 경상북도 포항시 남구
4 고인수 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양문옥 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0009106-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.03.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0023626-35
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0319479-11
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0614237-20
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.09.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0614236-85
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2011.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0038128-88
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0197642-27
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0292598-67
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.04.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0292599-13
11 등록결정서
Decision to grant
2011.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0554548-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광원으로부터 발생된 광의 간섭 무늬를 검출하는 빔 진단 장치에 있어서, 광이 발생되는 광원; 상기 광이 입사되면, 렌즈를 이용하여 입사된 상기 광을 굴절시킴으로써 상기 광의 이미지를 형성시키는 이미지 형성 수단; 형성된 상기 광의 이미지를 통과시키는 슬릿; 상기 슬릿을 통과한 상기 광의 이미지를 반사시키는 복수 개의 반사 수단; 및 상기 복수 개의 반사수단을 통해 반사된 상기 광의 이미지의 간섭 무늬가 형성되는 검출 수단을 포함하되, 상기 이미지 형성 수단은 상기 광원과 상기 슬릿 사이에 구비되어 상기 광의 간섭을 발생시키도록 상기 광의 이미지를 상기 슬릿의 전반부에 형성하고, 상기 복수 개의 반사 수단은 상기 슬릿과 상기 검출 수단 사이에 구비되는 것을 특징으로 하는 빔 진단 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 렌즈는 한 쌍의 볼록렌즈인 것을 특징으로 하는 빔 진단 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 슬릿은 이중 슬릿 또는 4중 슬릿인 것을 특징으로 하는 빔 진단 장치
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 반사 수단은 거울인 것을 특징으로 하는 빔 진단 장치
7 7
광원으로부터 발생된 광의 간섭 무늬를 검출하는 빔 진단 방법에 있어서, 광원에서 발생된 광을 렌즈를 이용하여 굴절시킴으로써 상기 광의 이미지를 슬릿의 전반부에 형성하는 단계; 상기 광의 간섭을 발생시키도록 상기 광의 이미지를 상기 슬릿을 통과시키는 단계; 상기 슬릿을 통과한 상기 광의 이미지를 복수 개의 반사 수단을 이용하여 반사시키는 단계; 및 상기 복수개의 반사 수단을 이용하여 반사된 상기 광의 이미지의 간섭 무늬를 검출 수단에 형성시키는 단계를 포함하는 빔 진단 방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 슬릿은 이중 슬릿 또는 4중 슬릿인 것을 특징으로 하는 빔 진단 방법
9 9
제7항에 있어서, 상기 렌즈는 한 쌍의 볼록렌즈인 것을 특징으로 하는 빔 진단 방법
10 10
제7항에 있어서, 상기 반사 수단은 거울인 것을 특징으로 하는 빔 진단 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.