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Al2O3, Y2O3, SiC, SiN4 중에서 선택되는 하나 이상의 세라믹 분말 50중량% 이하와, 잔부는 폴리카보실란, 폴리실록센, 폴리실라잔 중 선택되는 하나 이상의 고분자 세라믹 전구체(polymer ceramic precursor) 분말로 이루어진 출발원료를 균일하게 혼합하고 이를 성형하여 성형체를 제조하는 단계, 압력용기에서 상기 성형체에 임계온도 미만에 있는 20~400기압의 CO2를 도입시켜 상기 성형체를 포화시키는 단계, 상기 성형체에 도입된 CO2가 과포화상태가 되도록 상기 압력용기의 압력을 20기압 미만으로 조절하는 단계, 상기 성형체를 상기 고분자 세라믹 전구체의 연화온도와 용융온도 사이 범위의 온도로 가열하여 상기 성형체로부터 과포화상태의 CO2를 용출시킴으로써, 상기 성형체에 미세한 기공을 형성하는 단계, 상기 미세한 기공이 형성된 성형체를 경화하는 단계, 상기 경화된 성형체를 1600~1900℃ 범위 온도로 가열하여 열분해하는 단계를 포함하여 구성되는 미세다공질 세라믹스 소재의 제조방법
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폴리카보실란, 폴리실록센, 폴리실라잔 중 선택되는 하나 이상의 고분자 세라믹 전구체(polymer ceramic precursor) 분말을 성형하여 성형체를 제조하는 단계, 압력용기에서 상기 성형체에 임계온도 미만에 있는 20~400기압의 CO2를 도입시켜 상기 성형체를 포화시키는 단계, 상기 성형체에 도입된 CO2가 과포화상태가 되도록 상기 압력용기의 압력을 20기압 미만으로 조절하는 단계, 상기 성형체를 상기 고분자 세라믹 전구체의 연화온도와 용융온도 사이 범위의 온도로 가열하여 상기 성형체로부터 과포화상태의 CO2를 용출시킴으로써, 상기 성형체에 미세한 기공을 형성하는 단계, 상기 미세한 기공이 형성된 성형체를 경화하는 단계, 상기 경화된 성형체를 1600~1900℃ 범위 온도로 가열하여 열분해하는 단계를 포함하여 구성되는 미세다공질 세라믹스 소재의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 원료 혼합물은 일축가압성형 또는 정수압 성형에 의하여 성형되는 것을 특징으로 하는 미세다공질 세라믹스 소재의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 출발원료에, 고분자 세라믹 전구체 분말 전체중량의 5% 이하의 경화재를 추가하여 혼합 및 성형하는 것을 특징으로 하는 미세다공질 세라믹스 소재 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 고분자 세라믹 전구체 분말과, 상기 세라믹 전구체 분말 전체중량의 5% 이하의 경화재를 혼합하고 이를 성형하는 것을 특징으로 하는 미세다공질 세라믹스 소재 제조방법
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제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 경화재는 알루미늄아세틸 아세토네이트, 트리에틸렌디아민 중에서 선택되는 하나 이상의 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 미세다공질 세라믹스 소재의 제조방법
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제1항 또는 제2항의 방법에 의하여 제조되는 미세다공질 세라믹스 소재로서, 기공크기는 1~300㎛, 기공밀도는 104~1012개/㎤, 기공율이 5~90% 및 강도 1000~3800kg/㎠인 것을 특징으로 하는 미세다공질 세라믹스 소재
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