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초정밀제어 스테이지

  • 기술번호 : KST2014039588
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 나노 스케일 수준으로 초정밀 하면서도 정확하게 이동거리를 제어할 수 있도록 구조가 개선된 초정밀제어 스테이지에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초정밀제어 스테이지는 프레임과, 프레임에 대해 이동가능하도록 설치되는 스테이지와, 프레임과 스테이지 중 어느 하나에 결합되는 반사판과, 프레임과 스테이지 중 다른 하나에 반사판과 마주보도록 결합되며, 광이 투과되는 등방성 재질로 이루어지는 입사매개체와, 입사매개체를 향하여 편광된 광을 조사하는 편광조사부와, 편광조사부에서 조사되어 입사매개체를 통과한 다음 반사판에서 반사된 후 다시 입사매개체를 통과한 광이 입사되며, 입사된 광을 분석하는 편광분석부와, 편광분석부에서 분석된 데이터를 기초로 입사매개체와 반사판 사이의 간격을 측정함으로써, 스테이지가 프레임에 대하여 이동한 거리를 산출하는 제어부를 포함한다.
Int. CL G01B 11/14 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC G01B 11/0641(2013.01) G01B 11/0641(2013.01) G01B 11/0641(2013.01)
출원번호/일자 1020100113798 (2010.11.16)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자 10-1218542-0000 (2012.12.28)
공개번호/일자 10-2012-0052576 (2012.05.24) 문서열기
공고번호/일자 (20130121) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.16)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기 안산시 상록구
2 천혁녕 대한민국 부산광역시 사하구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0747135-57
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.01.16 수리 (Accepted) 9-1-2012-0004683-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0310461-15
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0607434-23
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.07.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0607449-18
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0610970-55
8 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2012.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0937908-69
9 등록결정서
Decision to grant
2012.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0779759-36
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
프레임;상기 프레임에 대해 이동가능하도록 설치되는 스테이지;상기 프레임과 상기 스테이지 중 어느 하나에 결합되는 반사판;상기 프레임과 상기 스테이지 중 다른 하나에 상기 반사판과 마주보도록 결합되며, 광이 투과되는 등방성 재질로 이루어지는 입사매개체;상기 입사매개체를 향하여 편광된 광을 조사하는 편광조사부;상기 편광조사부에서 조사되어 상기 입사매개체를 통과한 다음 상기 반사판에서 반사된 후 다시 상기 입사매개체를 통과한 광이 입사되며, 상기 입사된 광으로부터 상기 입사매개체와 상기 반사판 간의 공기층에서의 편광상태 변화량을 분석하는 편광분석부; 및상기 편광분석부에서 분석된 데이터를 기초로 상기 입사매개체와 상기 반사판 사이의 간격을 측정함으로써, 상기 스테이지가 상기 프레임에 대하여 이동한 거리를 산출하는 제어부;를 포함하되,상기 입사매개체에는, 상기 편광조사부에서 조사된 광이 입사되는 입사면과, 상기 반사판에서 반사된 후 다시 상기 입사매개체로 입사된 광이 투과되는 투과면이 마련되어 있으며, 상기 입사면 및 상기 투과면은 상기 광의 진행경로와 수직으로 형성됨으로써 편광상태의 변화가 발생하지 않는 것을 특징으로 하는 초정밀제어 스테이지
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 입사매개체를 통과한 광이 상기 입사매개체와 상기 공기층의 계면에 사입사되고, 상기 공기층을 통과한 광이 상기 반사판에 사입사됨으로써,상기 입사매개체와 상기 공기층의 계면 및 상기 반사판에서만 편광상태의 변화가 발생하는 것을 특징으로 하는 초정밀제어 스테이지
4 4
제1항에 있어서,상기 제어부는,타원해석기를 이용함으로써 상기 입사매개체와 상기 반사판 사이의 간격을 나노 스케일 수준으로 측정하는 것을 특징으로 하는 초정밀제어 스테이지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한양대학교 산학협력단 산학연공동기술개발컨소시엄사업(산학연공동기술개발컨소시엄사업) 결정질 실리콘을 이용한 태양전지의 반사방지막 특성 측정 장치개발