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마이크로 부품의 배치를 위한 홀더와;상기 홀더가 안착되는 홀더안착부와;공기흡입구와 공기배출공을 구비한 채, 상기 홀더안착부를 지지하되, 상기 홀더안착부가 놓이는 부분에 공기배출공이 형성된 지지부재를 포함하며,상기 공기배출공을 통해 배출되는 공기의 힘으로 상기 홀더안착부를 병진운동과 회전운동이 가능한 상태로 들어올릴 수 있도록 구성된 마이크로 부품 조립용 자가 조정장치
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제1항에 있어서,상기 지지부재는,중공형상의 제1하우징과;상기 제1하우징의 하부에 형성된 제1공기흡입구와;상기 제1하우징의 상부에 형성된 공기배출공으로 이루어지되,상기 공기배출공의 상부에는 상기 홀더안착부가 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 부품 조립용 자가 조정 장치
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제2항에 있어서,상기 공기배출공에는 다공질에어베어링(porous media air bearing)이 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 부품 조립용 자가 조정 장치
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제1항에 있어서, 상기 지지부재는, 상부가 개방된 중공형상의 제2하우징과, 상기 제2하우징의 하부에 형성된 제2공기흡입구와, 상기 제2하우징의 내부를 상기 제 2공기흡입구가 위치한 상기 제2하우징 하부와 상기 공기배출공이 위치한 제2하우징 상부로 구획하는 다공질 격벽으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 부품 조립용 자가 조정 장치
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제4항에 있어서,상기 홀더안착부의 상부에는 커버부재가 장착되되,상기 홀더안착부는 원추형상으로 이루어지고,상기 커버부재에는 상기 홀더안착부에 대응되는 원추형상의 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 부품 조립용 자가 조정 장치
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제5항에 있어서,상기 커버부재와 상기 제2하우징 사이에는 공기통로가 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 부품 조립용 자가 조정 장치
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