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진동자를 포함하여 구성된 초음파장치를 모니터링하는 방법에 있어서, 상기 진동자에 일정 주파수의 전기 신호를 인가하는 단계와,상기 인가된 전기 신호에 따른 전류 및 주파수를 측정하는 단계와,상기 측정된 전류 및 주파수를 통해 세정장치의 이상 작동 및 고장 여부를 판별하는 단계를 포함하며, 상기 이상 작동 여부 판별은 측정된 전류 및 주파수를 기준값과 비교하여 적어도 하나 이상의 오차가 검출될 경우 이상 작동 또는 고장 상태로 판정하되, 상기 이상 작동 및 고장 여부를 판별하는 단계에서;주파수가 변화된 경우 진동자의 특성변화에 의해 이상 작동 상태인 것으로 판정하는 것을 특징으로 하는 초음파장치 모니터링 방법
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진동자를 포함하여 구성된 초음파장치를 모니터링하는 방법에 있어서, 상기 진동자에 일정 주파수의 전기 신호를 인가하는 단계와,상기 인가된 전기 신호에 따른 전류 및 주파수를 측정하는 단계와,상기 측정된 전류 및 주파수를 통해 세정장치의 이상 작동 및 고장 여부를 판별하는 단계를 포함하며, 상기 이상 작동 여부 판별은 측정된 전류 및 주파수를 기준값과 비교하여 적어도 하나 이상의 오차가 검출될 경우 이상 작동 또는 고장 상태로 판정하되, 상기 이상 작동 및 고장 여부를 판별하는 단계에서;전류 값이 변화된 경우 저항 값의 변화에 의해서 전류 값이 변화된 것으로서 진동자의 특성변화나 압전소자가 진동자로부터 탈착된 것으로 판정함을 특징으로 하는 초음파장치 모니터링 방법
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진동자를 포함하여 구성된 초음파장치를 모니터링하는 방법에 있어서, 상기 진동자에 일정 주파수의 전기 신호를 인가하는 단계와,상기 인가된 전기 신호에 따른 전류 및 주파수를 측정하는 단계와,상기 측정된 전류 및 주파수를 통해 세정장치의 이상 작동 및 고장 여부를 판별하는 단계를 포함하며, 상기 이상 작동 여부 판별은 측정된 전류 및 주파수를 기준값과 비교하여 적어도 하나 이상의 오차가 검출될 경우 이상 작동 또는 고장 상태로 판정하되, 상기 이상 작동 및 고장 여부를 판별하는 단계에서;주파수와 전류 값이 동시에 변화된 경우 진동자의 특성변화나 압전소자가 진동자로부터 탈착된 것으로 판정함을 특징으로 하는 초음파장치 모니터링 방법
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진동자를 포함하여 구성된 초음파장치를 모니터링하는 방법에 있어서, 상기 진동자에 일정 주파수의 전기 신호를 인가하는 단계와,상기 인가된 전기 신호에 따른 전류 및 주파수를 측정하는 단계와,상기 측정된 전류 및 주파수를 통해 세정장치의 이상 작동 및 고장 여부를 판별하는 단계를 포함하며, 상기 이상 작동 여부 판별은 측정된 전류 및 주파수를 기준값과 비교하여 적어도 하나 이상의 오차가 검출될 경우 이상 작동 또는 고장 상태로 판정하되, 상기 이상 작동 및 고장 여부를 판별하는 단계에서;전류 값이 측정되지 않을 경우 전선이 단락된 것으로 판정하는 것을 특징으로 하는 초음파장치 모니터링 방법
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